国内MEMS方向哪所高校做得最好？全球呢？第1页

deng-wen-jun-56 网友的相关建议:

针对国内高校MEMS团队做了一个简单的调研，给各位有保研、考研或者招聘需求的同志参考一下：
清华大学（http://www.ime.tsinghua.edu.cn/publish/ime/5897/index.html）：
信息科学技术学院，微电子学研究所，微纳器件与系统研究室，研究重点为各种新型微电子与纳电子器件及系统，主任为陈炜教授（长江学者）。任天令教授（长江学者）主要研究方向为智能微纳电子器件、芯片与系统，如智能传感器与智能集成系统、可穿戴器件与系统，其中也包括微纳声学器件与系统（音频、超声影像等）和集成微传感器（压力、温度、加速度、红外传感器等）等。刘泽文教授主要从事射频和微波MEMS器件，王喆垚教授从事生物MEMS传感器研究，王晓红教授主要从事能源MEMS研究
此外，清华大学具有微米/纳米技术研究中心和电子封装技术研究中心，具有完备的MEMS加工技术与设备，以及铁电/压电、磁电子等新型材料、器件的工艺加工条件。在叠层芯片技术、系统级封装、MEMS封装等方面都有较高水平。
北京大学（https://eecs.pku.edu.cn/）：
信息科学技术学院，微纳电子学研究院，带头人王阳元院士、黄如院士，研究院下属集成微纳系统研究所(MEMS)，拥有完整的微米/纳米加工工艺线，具备可同时开展MOS、硅基MEMS和集成化工艺技术研究的实验环境，研究内容包括MEMS陀螺仪、加速度计、射频器件、光学器件、柔性器件等一系列MEMS器件，以硅基MEMS为基础，开发了SiC MEMS、 GaN MEMS、Ti MEMS、 Parylene MEMS等一系列加工技术。吴文刚教授主要研究MEMS光开关阵列等器件，张海霞教授主要研究深槽刻蚀微纳加工、SiC MEMS及能源MEMS等技术金玉丰教授主要从事微系统集成封装、MEMS传感器等方向的研究，于晓梅教授主要研究MEMS非制冷红外成像技术及太赫兹探测技术等。
此外，北大建有微米纳米加工技术国家级重点实验室（北大分部），目前该实验室包括微电子净化工艺实验室面积为900平，拥有各种先进的工艺加工及检测设备130多套，可加工CMOS集成电路、超高速硅双极集成电路、微电子机械系统、CMOS/SOI集成电路和化合物半导体器件等，是国内配套最全、最开放的微电子和微电子机械工艺实验研究环境。
上海交通大学（http://microsystem.sjtu.edu.cn/mems/research.html）：
微纳电子学系，通用MEMS技术实验室主要研究方向为非硅材料三维微加工技术研究和信息MEMS器件研制，涉及LIGA/准LIGA加工技术、UV－LIGA 技术、电化学微加工技术、薄膜电子材料制备与微细加工技术、RF MEMS器件，Optical－MEMS器件、MEMS继电器、MEMS传感器等诸多领域，EE-MEMS实验室主要研究生物医学微系统、极端条件微传感器与系统和微纳制造与精密制靶，微系统集成研究所主要研究方向包括悬浮式微惯性器件、体声波固体波动及固体模态振动微陀螺、微飞行器、微安全系统、流动MEMS传感与控制、微流控芯片。
此外，上海交通大学建有微米纳米加工技术国家级重点实验室（上交分部），紧紧围绕非硅三维微加工技术，开展非硅材料的微米/纳米加工技术的基础与应用基础及其创新工艺技术设计开发研究，突破了一系列关键技术，开发了一系列具有自主知识产权的非硅微米/纳米加工先进工艺技术，建立了面向多用户开放使用的先进的非硅的微米/纳米加工开放工艺规范，研制了一批关键MEMS器件。
东南大学（https://electronic.seu.edu.cn/）：
电子科学与工程学院，MEMS教育部重点实验室，带头人为黄庆安教授（长江学者，IEEE Fellow），实验室的研究方向包括风速风向传感器、气象传感器、无源无线传感器等多种MEMS传感器的设计与加工制作。秦明教授主要研究MEMS流量、风速、气压等传感器，廖小平教授主要研究基于RF MEMS技术的微波通讯信号的功率、相位和频率的集成检测系统，以及微型能量收集等方面的设计理论和实现方法研究。尚金堂教授的研究方向包括芯片级原子/量子器件以及微半球谐振器，黄晓东教授主要研究微能源器件与信息存储器件，窦广彬教授主要研究MEMS重力梯度及惯导传感，NEMS石墨烯位移传感，机械量子传感系统，周再发教授主要研究MEMS材料参数在线测试技术与MEMS设计软件开发。
西安交通大学（http://mec.xjtu.edu.cn/）：
机械工程学院，陕西省微型机械电子系统（MEMS）研究中心，主任蒋庄德教授、副主任赵玉龙教授，现主要从事MEMS设计与工艺、各种MEMS器件、MEMS传感器和相关系统的设计和制作，主要包括极端环境下的传感器如耐高温的压力传感器、油气检测传感器等等。
重庆大学（http://coe.cqu.edu.cn/info/1178/2374.htm）：
光电工程学院，光电技术及系统教育部重点实验室，研究方向包括光纤光子技术、微纳器件及系统、智能结构系统与智能化光电仪器及设备。其中与MEMS相关的主要是微纳器件及系统，带头人是牟笑静教授，研究范围包括微纳生化传感器与微型仪器、MEMS微能源器件与系统、新型微纳器件的基础理论与关键核心共性技术等，重点从事基于氮化铝薄膜的压电功能芯片的研究及研发工作。
西北工业大学（http://jidian.nwpu.edu.cn/xygk/xyjj.htm）：
机电学院，微系统工程系，空天微纳系统教育部重点实验室，是国内较早开展MEMS研究的单位之一，以微机电系统技术为核心，以纳机电系统（NEMS）技术为深入方向，以面向航空、航天、航海及国家重大需求的微纳系统及相关技术研究为重点和特色。带头人为苑伟政教授（长江学者），主要研究MEMS微系统集成、制造相关技术，重点面向军工需求的MEMS陀螺仪、惯性传感器以及微光学系统等。
除以上高校外，还有中科院上海微系统所、北京电子所、苏州纳米所以及中电集团55所等研究所在MEMS领域都有深厚的研究积累，尤其在加工工艺条件上相比高校具有一定优势。