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我国的光刻机开发得怎么样了? 第1页

     

user avatar   zhou-ang-67 网友的相关建议: 
      

只说公开发表的内容。

第三次修改:根据最近的计算结果和评论中提出的问题做了相应修改和更正。作者知识有限,很多内容是自己的理解,不是我自己的专业。有错误请评论区合理指出。

第二次补充:再简单添加一些基础性的知识。

解释一下线宽和波长之间的关系。平时我们说的7nm,3nm都是指线宽。而所谓193nm ArF或者13.5 nm EUV则是指光源的波长。

光刻的分辨率受限于瑞利衍射极限,大体上正比于波长,反比于数值孔径。上一代商用光刻机的光源是准分子ArF DUV,波长为193nm。对应的分辨率大致是90nm,主要受制于光学系统的设计限制。在这个光源的基础上,通过在物镜和基片之中注入液体,形成浸入式系统,等效于提高了数值孔径。再加上多层套膜技术,最终实现了7 nm的线宽。所以,其他答主提到的无论是90nm还是28nm的技术,用的都是193 nm的ArF通过浸入式和多层套模实现的。

但是ArF的工艺极限基本停在7nm,再往下套模层数太多,良率和成本爆炸。就好像59,再怎么魔改也很难再推进下去了。所以这就需要新的光源:EUV极紫外。EUV的波长选择为13.5nm,是DUV的1/10不到。所以EUV可以比较廉价地实现7nm到1nm的工艺。ASML利用浸润式实现对尼康的超车,利用EUV实现了彻底压制。但是,我国是搞不到ASML的EUV的,这就需要自研。

EUV的问题总体来说比较多,和上一代的DUV差别很大。光源和DUV完全不同,需要全新的研究。EUV的穿透性太强,传统的透射系统不能用了,需要用离轴反射系统,这是另外一个问题。机械平台的精度要求也很高。最难的是这几点需要结合在一起形成系统。下面仅就我熟悉的几个系统简单谈谈。


不是每个模块都懂,说说自己比较熟悉的光源部分(机械部分我不懂;Mo/Si反射镜和离轴反射镜系统主要是长光在做,涉密不讲。不过说只有蔡司能做的可以歇歇了,那是能卖的只有蔡司)。

光源的商用方案目前已经被提出的,主要有三种,即激光等离子体光源(Laser-Produced Plasma,LPP),激光辅助放电等离子光源(Laser assisted Discharge Plasma,LDP)和DPP(Discharge-Produced Plasma)。锡靶主要是液滴靶和固体靶,曾经还有人提出过带靶。

发光的方案就是用高能脉冲激光打在锡上,形成等离子体。等离子体的发光被聚光镜收集起来作为光刻的光源,然后这些锡还需要被收集起来,不能够飞溅到镜面上,污染系统。不直接使用激光的主要原因是反射投影系统会在强干涉下会有额外的波纹。

目前ASML的技术是LPP。我国在LPP研发方面的难点有二:1.大功率的泵浦激光器。3nm的标准是XXX瓦。ASML的光源供应商Cymer用的是二氧化碳激光器。不用固体的原因是涉及到最终打出的锡液滴的离子体形状以及污染。国内有研究组评估过,但深层次原因可能更加复杂。LPP所使用的泵浦激光器方面,学术上目前欠债比较多,缺乏技术积累。但是举国体制,我觉得2~3年内可以做出来,因为大功率高重复二氧化碳激光器国内是有一定积累的。2. Sn靶。ASML用的是液滴靶,微流控是个难点,预打靶是个难题,污染是个难题。长光在02用的是次选方案,可能是没能力做。另外华中科以及中科院另外一个所有其他次选方案。液滴靶华中科也在做但似乎跟ASML不完全相同。

不少答主提到中国没有可用的EUV光源,其实这是完全不对的。中国实际上有可用的EUV光源,还不止一处,只是不适合生产。那就是同步辐射光源。最近算了一下,似乎现有的前三代同步辐射应该是不可用。在建的第四代应该勉强足够。但是可能终极解决方案还是FEL。(感谢评论区指出)目前ASML的EUV的激光器功率已经很大了,制程再往下走,常规激光器还能不能跟上我觉得不好说。所以某种意义上,FEL可能是终极方案(主要参数满足要求,但商业上不成熟,且不知道有没有未知技术问题。欧洲似乎评估过这个事情。)。

最后总结一下目前光刻机这一块发展不起来的原因:没钱。02看起来很大一笔钱,但是比比之前美国+欧洲+全球各大微电子厂商集资给EUV项目的钱就是沧海一粟。整个EUV要说要多难?很难。但是钱不限量的情况下国内的技术积累完全可以做,按照搞原子弹的标准一个十四五就能搞出来。问题是没人下的了这个决心。

中国大学老师发论文的压力很大,而做这个方向因为已经有商业成品了,所以恰恰是不可能有高水平论文的,导致老师们的积极性很低。只能依靠企业,但是企业没有动力做这个事情。

国家层面嘛,我感觉钱虽然不够,但是给了一些。关键在于政策上的导向很少。

市场层面,个人感觉,技术领域的钱都在互联网里。我百度一下LDP或者随便什么缩写大概率出来的都是程序员的东西(但用Google的话居然不是!所以互联网这颗‘毒丸’谁吃了真的不好说)。知乎里谈及技术就是程序员,这很悲哀。互联网这个东西对技术的影响我个人认为就是……算了,不说了,要被程序员们用薪酬吊起来打。被资本吊死的东西里不仅有无产阶级还有资本家,以及一切他们的代言人。

补充两句,不虾仁猪心不行了:中国民营500强里没有AT,因为是外企。BAT三家被XXX当成巨婴养了这么多年,至今无法出海。BAT的本质和盐业、烟草业没有区别,除了纳税少。支持互联网这种低技术产业从高精尖制造业吸血是要付出血的代价的。


第一次补充:本来不太想提物镜系统,因为涉及秘密+不是特别熟悉。不过刚才查了一下公开文献已经不少。那我就斗胆简单说一说,EUV的反射镜是Mo/Si多层反射镜,因为短波长必须采用低序数的材料才能获得比较大的折射率。镜体的粗糙度要求很高,大概相当于一个足球场大的面积上粗糙度小于一个头发丝。尤其是收集镜,但这个不是主要问题。Mo/Si大约是几十对,主要是平衡损耗和反射率,兼顾工艺难度。多层反射镜的工艺难度主要在厚度控制,防扩散,应力控制和预防杂质等方面。这个方向国内有一定基础。单面反射镜的反射率在70~80%左右。多面加起来,最终到达基板的光其实非常少,这也是光源难做的原因之一:线宽和功率的要求很高,还有极高的重复率。多层膜反射镜的检测也是个难题,但这个领域国内有专家,可能不会是大问题。此外,由于EUV是离轴反射光学系统,光学设计、检测和组装是个很难的事情。这个方面长光积淀很深。

总的来讲,EUV的光源和物镜系统方面原理上基本是公开的,更多是KNOWHOW的东西。这个要靠钱靠人砸出来,这也是为什么我说这个领域很缺钱的原因。


第四次修改:很荣幸我站在现在的位置,我与我的母校,我的祖国同在。

岂曰无衣?与子同袍。王于兴师,修我戈矛。与子同仇!

岂曰无衣?与子同泽。王于兴师,修我矛戟。与子偕作!

岂曰无衣?与子同裳。王于兴师,修我甲兵。与子偕行!

第三次补充和修改:删除部分私货,尽量保持客观,避免自我感动。

最后,夹带一点个人私货。不喜欢的就别浪费时间看了,看了的话请您别吵架。

我写这个问题主要希望这个回答能够吸引一些相关专业的年轻科研人员进入这个领域。抵制一下这里劝退生化环材的风气。因为整个光刻机系统有太多部分都卡在化学和材料上了,我相信大部分高精尖制造领域都会有大量的材料问题。

这个领域现在在国内来说没太多钱,也很难出高水平的文章,研发周期又很长,名利几乎都很难有。作者也曾经考虑过去转互联网,或者干脆在国外工作。但是想来想去还是回国跳了坑。因为人总是要做一点会让自己的人生有价值的事情。我们有太多的需求并不来自于我们自身,而是来自于外物。引用康德的话说:自律即自由。相比于买一套房或者留下一点基因的延续,我更在乎那个能帮助人类往无垠未知走一小步的机会。虽然不知道这一步是前进还是后退,但这让我感受到自由。


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倪光南院士倒底是战忽局的还是战恐局的,咱是也搞不清啊。


昨天20200911的新闻


网友的观点,感觉靠谱:

记得北斗上天后,国务院新闻办开了发布会介绍北斗情况,其中提到28nm完全自主知识产权芯片,同时表示22nm以在路上,我当时推断应该有28nm国产线,理由很简单,北斗这种属于军民公用,但偏军用,国外不可能有人代工,大陆也只有2家有这能力,但80%是美国设备,有说法是,中芯都有美企代表常驻,每次开工都需要报批和合规审查,所以为军工代工可能也不大,因此推断有纯国产线的存在。


个人回复:

可能只是良率不高。但军用不考虑良率。再怎么也比以前拿一堆芯片放炉子烤、再来挑,效率高。所以一直没有外宣。


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光刻机终极十问:中国有没有必要举全国之力,去造一台光刻机?

文 | 温戈

首刊于腾讯新闻,原文链接:

3月初,中芯国际迎来了久违的好消息:中芯国际与荷兰光刻机公司阿斯麦(以下简称“ASML”)签下大单,订购12亿美元光刻机。

近年来,我国虽然在科技研发上取得了多项重大进步,但在芯片研发和制造领域却亟待突破,特别是在新冠疫情之后,全球新一轮的“芯片荒”来袭造成了产业链对于芯片供不应求的问题,我国想要推进独立自主的芯片研发,光刻机的生产制造就显得尤为重要。

芯片虽小,制造难度却很大,而这一过程中一个关键的工艺机器——光刻机的制造成为了一大难题。芯片之于光刻机,就如同人和大脑的关系,但纵览几十年中国乃至全球球光刻机产业的发展却表现的差强人意,呈现出了唯有荷兰ASML“一家独大”的局面。

我们不禁也对此有很多疑问:为何中国乃至全球对于制造光刻机的难度如此之大?ASML公司是如何做到光刻机产业中“全球霸主”的地位?为何该公司一台光刻机的售价达到了数亿美元?继3月初的《芯片终极十问》之后,该文章作者再次围绕光刻机的十个重要问题为您解读。

Q1:光刻机是做什么的?是在造芯的哪个过程发挥作用?

光刻机(英文“Mask Aligner”) ,又名掩模对准曝光机,是芯片制造流程中光刻工艺的核心设备。芯片的制造流程极其复杂,我们可以概括为几大步骤:硅片的制备-->外延工艺-->热氧化-->扩散掺杂-->离子注入-->薄膜制备-->光刻-->刻蚀-->工艺集成等。光刻工艺是制造流程中最关键的一步,光刻确定了芯片的关键尺寸,在整个芯片的制造过程中约占据了整体制造成本的35%。

光刻工艺的作用是将掩膜版(光刻版)上的几何图形转移到晶圆表面的光刻胶上。首先光刻胶处理设备把光刻胶旋涂到晶圆表面,再经过分步重复曝光和显影处理之后,在晶圆上形成需要的图形。原理示意图如下:

通常我们以一个制程所需要经过的掩膜数量来表现这个制程的难易。根据曝光方式不同,光刻可分为接触式、接近式和投影式;根据光刻面数的不同,有单面对准光刻和双面对准光刻;根据光刻胶类型不同,有薄胶光刻和厚胶光刻。一般的光刻流程包括底膜处理、涂胶、前烘、对准曝光、显影、刻蚀,去胶光刻检验等,可以根据实际情况调整流程中的操作。

Q2:光刻机是对哪类芯片有影响?如果完全没有光刻机,芯片是否还能正常生产?是否有光刻的替代品?

目前,无论是汽车芯片,手机芯片还是其他领域,包括军用,航空航天等应用的芯片都离不开光刻机。而光刻机本身按照应用可以分为几类,用于芯片前道制造的光刻机,用于后道芯片封装的光刻机和应用于LED制造领域的投影光刻机。

1955年,贝尔实验室的朱尔斯·安德鲁斯和沃尔特·邦德开始把制造印刷电路板的光刻技术应用到硅片上。1958年,仙童半导体公司的杰·拉斯特和诺伊斯制造出了第一台光刻照相机,用于硅基晶体三极管的制造。1961年,美国GCA公司制造出了第一台光刻机,从此光刻成为芯片制造中最重要的环节。

因为目前的芯片都还是硅基芯片,历经大半个世纪的发展,从最初的电子管到晶体管,再到集成电路的发明,晶体管的关键尺寸一步一步缩小,而在纳米级别的尺度进行电路雕刻,目前我们所掌握的技术只有光刻。光刻技术在发展中不断的优化,是一步一步从历史的实践中得出来的工艺,如果想另辟蹊径,我们将面对的是未知的黑暗与技术深渊,其难度不低于研发出高端光刻机。所以如果没有光刻机,芯片是无法正常制造的,目前也不存在光刻机的替代品。

Q3:为什么光刻机的造价如此之高?究竟是哪部分成本较高?

一台高端光刻机的造价需要上亿美元,甚至比一台波音的客机还要贵。光刻机如此之昂贵的原因是因为其涉及系统集成、精密光学、精密运动、精密物料传输、高精度微环境控制等多项先进技术,是所有半导体制造设备中技术含量最高的设备。其中最关键零件之一,由德国蔡司生产的反射镜必须要做到史无前例的光滑度,瑕疵大小仅能以皮米(奈米的千分之一)计。

这样的精度是什么概念?ASML 总裁暨执行长彼得(Peter Wennink)在接受媒体专访时解释,如果反射镜面积有整个德国大,最高的突起处不能高于一公分!

因此,光刻机也具备极高的单台价值量,目前世界上最先进的ASML EUV光刻机单价达到近一亿欧元,可满足5nm芯片工艺的生产。

ASML的光源来自于美国Cymer,光学模组来自德国蔡司,计量设备来自美国,但属于德国科技,它的传送带则来自荷兰VDL集团。一台光刻机90%零件都是通过全球采购,当中涉及到4个国家十多家公司,而下游客户的利益也与ASML牢牢捆绑。

Q4:中国明明知道本国的芯片科技较为落后,几十年前为什么不发展芯片和光刻机?

我国不是不重视,也不是不发展,而是在当时的国内以及国际大环境下,芯片的问题相对显得“渺小”了。

另外,当年发展两弹一星是国家安全的保障,而芯片问题在民族存亡的问题下,又显得太渺小。然而中国真的没有发展芯片吗?显然不是,事实上我国的光刻技术起步并不晚,上个世纪60年代我国的中科院就研究出了65接触式的光刻机。

1978年,中科院半导体所开始研制半自动接近式光刻机。

1990年,由中科院光电所承担的直接分步重复投影光刻机样机研制成功。

1996年,中科院成都光电所研制的0.8-1微米分步重复投影光刻机通过验收。


所以,国内的光刻机技术从未停止研发,我们也有自主技术的光刻机,只是从未拥有世界领先的光刻机罢了。

Q5:当前最知名的光刻机厂商是荷兰的ASML,为什么芯片强国美国、日韩没有一家光刻机大厂?在一个盛产风车和郁金香的国家,早期只有三十几个人的ASML是怎么崛起的?

要想知道为什么最好的光刻机来自荷兰,而不是美国,得从半导体发展的三个历史阶段说起。

第一阶段:上世纪60~70年代是早期光刻机发展阶段。

当时美国是走在世界前面的,那时候还没有ASML。

光刻机的原理其实像幻灯机一样简单,就是把光通过带电路图的掩膜(Mask,后来也叫光罩)投影到涂有光敏胶的晶圆上。早期60年代的光刻掩膜版以1:1的尺寸紧贴在晶圆片上,而那时的晶圆也只有1英寸大小。


因此,光刻那时并不是高科技,半导体公司通常自己设计工装和工具,比如英特尔开始是买16毫米摄像机的镜头拆了用。只有GCA、K&S和Kasper等很少几家公司有做过一点点相关设备。

60年代末,日本的尼康和佳能开始进入这个领域,毕竟当时的光刻不比照相机复杂。

1973年,拿到美国军方投资的Perkin Elmer公司推出了投影式光刻系统,搭配正性光刻胶非常好用而且良率颇高,因此迅速占领了市场。

1978年,GCA推出了世界上第一台商用步进光刻机DSW4800(direct step to wafer)。该机器使用g线汞灯和蔡司光学元件。以10:1的比例将芯片线路成像到10毫米见方区域。该机器价格为45万美元,第一台机器以37万美元的价格卖给了德州仪器的研发部门。由于刚开始DSW4800的生产效率相对较低,所以Perkin Elmer在后面很长一段时间仍处于主导地位。

第二阶段:上世纪80-90年代,半导体产业的第一次“转移”。

80年代左右,因为美国扶植,最开始是将一些装配产业向日本转移,而日本也抓住了机会,在半导体领域趁势崛起。

在90年代前后,日本的半导体产业成为了全球第一,高峰期时占据了全球超过60%的份额,出口额全球第一,超过美国。

在那个芯片制程还停留在微米的时代,能做光刻机的企业,少说也有数十家,而尼康凭借着相机时代的积累,在那个日本半导体产业全面崛起的年代,成为了当之无愧的巨头。

短短几年,尼康就将昔日光刻机大国美国拉下马,与旧王者GCA平起平坐,拿下三成市场份额。


而后来尼康作为九十年代最大的光刻机巨头,它的衰落,说来也充满偶然,始于那一回157nm光源干刻法与193nm光源湿刻法的技术之争。

当时的光刻机的光源波长被卡死在193nm,是摆在全产业面前的一道难关。

降低光的波长,从光源出发是根本方法,但高中学生都知道,光由真空入水,因为水的折射率,光的波长会改变——在透镜和硅片之间加一层水,由于水对 193nm 光的折射率 高达 1.44,原有的193nm激光经过折射,不就直接越过了157nm的天堑,降低到134nm了吗!

2002年,时任台积电前研发副总经理的林本坚拿着这项“沉浸式光刻”方案,跑遍美国、德国、日本等国,游说各家半导体巨头,但都吃了闭门羹。

当时还是小角色的ASML(1984年飞利浦和一家小公司ASM Internationa以50:50组成的合资公司,最初员工只有31人)决定赌一把,相比之前在传统干式微影上的投入,押注浸润式技术更有可能以小博大。于是ASML和林本坚一拍即合,仅用一年多的时间,就在2004年拼全力赶出了第一台样机,并先后夺下IBM和台积电等大客户的订单。

第三阶段:新千年前后时期,荷兰ASML的崛起。

1997年,英特尔攒起了一个叫EUV LLC的联盟。联盟中的名字个个如雷贯耳:除了英特尔和牵头的美国能源部以外,还有摩托罗拉、AMD、IBM,以及能源部下属三大国家实验室:劳伦斯利弗莫尔国家实验室、桑迪亚国家实验室和劳伦斯伯克利实验室。

这些实验室是美国科技发展的幕后英雄,他们之前的研究成果覆盖了物理、化学、制造业、半导体产业的各种前沿方向,有核武器、超级计算机、国家点火装置,甚至还有二十多种新发现的化学元素。

资金到位,技术入场,人才云集,但偏偏联盟中的美国光刻机企业SVG、Ultratech早在80年代就被尼康打得七零八落,根本烂泥扶不上墙。于是,英特尔力邀ASML和尼康加入EUV LLC。但问题在于,这两家公司,一个来自日本,一个来自荷兰,都不是本土企业。


当时的美国政府将EUV技术视为推动本国半导体产业发展的核心技术,并不太希望外国企业参与其中,更何况是八九十年代在半导体领域压了美国风头的日本。但EUV光刻机又几乎逼近物理学、材料学以及精密制造的极限。光源功率要求极高,透镜和反射镜系统也极致精密,还需要真空环境,其配套的抗蚀剂和防护膜的良品率也不高。别说日本与荷兰,就算是美国,想要一己之力自主突破这项技术,可以说是比登天还难,毕竟美国已经登月了。

最后,ASML同意在美国建立一所工厂和一个研发中心,以此满足所有美国本土的产能需求。另外,还保证55%的零部件均从美国供应商处采购,并接受定期审查。所以为什么美国能禁止荷兰的光刻机出口中国,一切的原因都始于此时。

错失EUV的尼康,还未完全失去机会,让它一蹶不振的,是盟友的离开。当时的英特尔为了防止核心设备供应商一家独大,制作22nm的芯片还是一直采购ASML和尼康两家的光刻机。但“备胎终究是备胎”,一转身,英特尔就为了延续摩尔定律的节奏,巨资入股ASML,顺带将EUV技术托付。

另一边,相比一步步集成了全球制造业精华的ASML,早年间就习惯单打独斗的尼康在遭遇美国封锁后,更是一步步落后,先进设备技术跟不上且不提,就连落后设备的制造效率也迟迟提不上来。而佳能在光刻机领域一直没有争过老大,当年它的数码相机称霸世界,利润很高,但是对一年销量只有上百台的光刻机根本没有给予重视。2012年,英特尔连同三星和台积电,三家企业共计投资52.29亿欧元,先后入股ASML,以此获得优先供货权,结成紧密的利益共同体。在2015年,第一台可量产的EUV样机正式发布,意味着在7nm以下的先进工艺节点,ASML再无对手!

Q6:是否可以说全球的芯片产业被ASML扼制住了咽喉?有没有能对ASML产生威胁的厂商?他们的技术水平如何?

与其说全球的芯片产业被ASML遏制住了咽喉,不如说是被ASML及其背后的利益共同体扼制住了咽喉。除了ASML,目前世界上其他比较先进的光刻机厂商分别是日本的尼康和佳能。从目前尼康的官网上可以看到尼康最先进的光刻机型号为NSR-S635E。


从其关键参数和介绍来看,其光源波长为193nm,水平大致相当于ASML DUV光刻机的水平。不过,依照ASML(ASML)、尼康、佳能三家公司的官方数据整理得知,去年全球光刻机总销售量为413台。其中ASML销售258台占比62%,佳能销售122台占比30%,尼康销售33台占比8%。按照销售额来计算的话,因为最昂贵的EUV只有ASML制造销售,所以总的份额占比依次是91%、3%、6%。所以目前无论是尼康还是佳能都无法对ASML构成威胁。

Q7:当前中国光刻机研发实力如何?是否具备独立制造光刻机的实力?相比ASML的崛起,中国有强大的基础,为什么现在造出一台光刻机这么难?目前最好的国产光刻机是什么实力水平?相当于国际上什么样级别的产品?

目前中国具备独立制造光刻机的实力,光刻机企业包括上海微电子装备(SMEE)合肥鑫硕半导体,无锡迎翔半导体等。其中最先进的是上海微电子装备有限公司的600系列光刻机,可满足IC制造90nm、110nm、280nm关键层和非关键层的光刻工艺需求。该设备可用于8寸线或12寸线的大规模工业生产。据悉,SMEE今年即将交付可以制造28nm芯片的光刻机,对此我们拭目以待。

目前,SMEE的光刻机使用的光源分别为深紫外ArF(193nm)、KrF(248nm),i-line (365nm),虽然已经用到了深紫外光源,但其整体制造能力距离ASML的第四代光刻机DUV光刻机还差一大截,整体水平相当于ASML 2003年左右的第三代光刻机TWINSCAN AT:1150i,从这方面来看,与国外的差距有18年。但随着新工艺研发难度的提高,国外的工艺进程也放缓,况且很多原理我们已经了解,相信国内与国际先进制程的真实差距在10-15年左右。

Q8:ASML的光刻机制造,几乎也是靠全球化产业链完成的,按照当前的国际形势,中国制造一台光刻机的难度是不是比以往更大了?

高端光刻机的制造困难在其中的众多核心部件都是极其精密的,光刻机不是一个国家的技术,而是用整个西方最先进的工业体系在支撑。无论是在过去还是现在,中国想独立制造一台高端的光刻机都非常的难。对于光刻机众多的核心部件,想在每一个上面都做到世界级的精度几乎是一个不可能完成的任务。另一个原因就是《瓦森纳协议》的存在,它是由欧美强国制定的一个先进技术限制出口的方案,旨在保护其先进核心技术不外泄。虽然它是由欧美40多个国家共同指定的,但是基本受美国掌控,并且直指中国。比如在2004年,捷克拟向中国出口“无源雷达设备”时,美国便向捷克施加压力,迫使捷克停止这项交易。

Q9:中国芯片厂商很多时候是买二手的光刻机,二手产品对芯片会有哪些影响?为何不买最新的?

造成中国厂商购买二手光刻机的主要原因还是由国内半导体产业链供需失衡导致的。为了缓解产能不足的情况,导致日本大量的二手设备流入中国,甚至现在连二手设备都已经大幅涨价。这也从侧面说明了目前我国芯片制造设备,即使在成熟工艺上依然无法自给自足。

至于为什么不买最新的,原因之一是买不到,还有一个原因是二手设备具有明显的价格优势,通常为新设备价格的70%不到。半导体作为资金密集型的产业,前期的投入是巨大的,所以削减成本以维持其利润也是企业要考虑的问题。另外很多领域需要的芯片是成熟的工艺制程,二手设备也是可以满足需求的。

Q10:ASML光刻机曾一度被禁止运送至中国,这是否也加大了中国的芯片荒程度?是否有比较好的解决方案?如果没有好的解决方案,中国芯片产业将面临怎样的困境?

这的确在一定程度上加大了国内芯片荒的程度。但是ASML的光刻机并未完全禁止出口给中国,3月3日中芯国际与ASML签订了12亿美元的协议购买光刻机,预计会包含NXT 1980Di,NXT2050i等DUV光刻机,可以用于制造14nm或者制程更先进的芯片。

目前的芯片短缺已经不仅仅是中国的问题,也是世界性的问题。短期之内没有太好的办法,但是长期来看,我国已然开始重视半导体产业,在“十四五”规划和2035远景目标纲要中,提到了要“增强集成电路产业自主创新能力,推动先进工艺等重大项目尽早达产”等战略目标。在摩尔定律放缓的今天,只要我们稳扎稳打,就一定能缩小与世界先进工艺的差距,甚至在未来十年迎头赶上。

EUV光刻机作为集成了全球最顶尖技术的产品,为其供应零部件的是来自不同国家的上百个企业。这也是为什么一位ASML的高管敢于放豪言说:即使开放图纸给中国,中国也造不出来光刻机。事实上,ASML对向中国出售光刻机一直都是持积极态度的,2020年,ASML发往中国大陆地区的光刻机台数超过了其发往全球总数的20%,中国是ASML最大的客户之一。

有人说,我们造的出来原子弹,难道造不出来光刻机?笔者认为,时代变了,我们以举国之力去造光刻机并不见得是一个明智的选择,因为其需要投入的资金以数千亿计,更需要投入大量的高端人才。与其把目光全部放到光刻机上,不如提升我们的综合国力和在世界舞台的地位,与其单纯的提升技术,在政治方面寻求突破也许也是一个不错的选择。

参考资料:

1、《金捷幡 光刻机之战》作者: 金捷幡

2、《拉下尼康,ASML 是如何一举称王的?》作者:魔铁的世界

3、《U.S. gives ok to ASML on EUV effort》来自EE Times

【版权声明】本文著作权归文章作者(笔名:温戈)所有,任何第三方未经授权,不得转载。


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我写过多次了。

中国计算机在改革前,其实还有些自己的东西,仿也好,逆向也好。自主这条腿还在。

后来改革,引进外国的,自己的就不重视了。

再后来,大学生不分配,自费上学,自主择业。

各个行业差距拉开。

自己研发这块就找不到最好的人才了。

90年代以后,最好的学生第一选择都是出国上个学,留在美国找个工作。

当时,穷人多,自费留学很少,都是申请奖学金才能去的。

学什么不重要,能出去才重要。

第二档次的学生去外企,因为当时外企收入还是高的,本土没有BAT,外企去不了,然后才是银行海关这些地方。

去研发航空火箭电子之类的专业,高考的时候选的人就少。也不是优秀人才的第一选择。

研发歼20的杨伟是少年班的,如果他正常上学高考,可能也选外贸,金融了。

现在,最优秀的孩子,除了家里有矿的学接班,大多大学选金融,互联网,去国外上学,毕业能去华尔街,脸书,谷歌拿高薪。

国内上学的,先去互联网企业或者金融企业。外企吸引力还有,不如以前了。公务员没钱,但是有个稳定不失业的保障。

研发国家需要的东西,体制内给钱给不多,以前那套福利没有了。

现在的人生于安乐,没有几个钱学森,郭永怀。肯不要个人舒适,为国效力。

你找不到最优秀的人学国家需要的东西。

即使有人学了国家需要的东西,毕业他可能转行去挣钱多的地方了,或者考个公务员去下基层,写八股,精确扶贫了。

美国可以浪,因为全世界人才去他哪里给他服务。

中国要追赶,这样恐怕是不行。

应该有一个长期的计划。


关系到国家核心竞争力的领域,人才要早掐尖。

高考甚至高考前就掐。

给从幼儿园到坟墓的全家生活福利保障,公务员工资待遇,体制内流动。

让这些人学对国家有用的学习内容,定向培养,为国家竞争力服务。


国家产业扶持也有很大问题。

最近几年才开始稍微快点。

芯片制造这种东西,比高铁都重要。

这个和航空发动机一样,你没有,最后出来的武器就差一头。

不能让企业主导,投机骗钱搞汉芯。

就得国家队搞两弹一星,总体规划。

从沙子,矿石到芯片,一路缺什么补什么。材料不行解决材料,工艺不行解决工艺。

进口不禁止,但是要给自主一个稳定封闭的市场,慢慢发展。


我一直说,信息行业真正的需求没有那么高。是安迪比尔定律的消费陷阱。软件开发不要求,浪费了大部分性能。


今天手机用5nm芯片的体验,和2013年用28nm差不多。

你用2013年的骁龙600的手机开2013年的淘宝,一点不耽误买东西。而且速度开启比今天你用骁龙865手机开淘宝还快。


今天电脑用7nm干得活,只要你把软件降级回去,90nm不一定干不了。

你用酷睿2在XP打开WORD 2003,比你用i7 在Win10 下打开最新版本的WPS快。


中国硬件落后,造出来的芯片,完全可以通过软件限制,打破安迪比尔定律,替代掉最新的技术。


就是说政府主导一个生态,用落后工艺,但是新开发软件限制性能浪费。

这个生态的体验一点不会差。

用90nm工艺处理器的PC,可以正常办公工作。

用28nm工艺的手机,可以干大游戏之外所有的事情,而且续航也不会差。


有这套生态,自主工艺能挣钱,能循环,就能慢慢发展了。


user avatar   shi-zhong-20 网友的相关建议: 
      

中国最牛的光刻机生产商是上海微电子装备公司(SMEE),它可以做到的最精密的加工制程是90nm,相当于2004年最新款的 intel 奔腾四处理器的水平。

别小瞧这个90nm制程的能力。这已经足够驱动基础的国防和工业。哪怕是面对“所有进口光刻机都瞬间停止工作”这种极端的情况时,中国仍然有芯片可用。

在这种情况下,“断供”就达不到“弄死人”的效果,最大的作用其实是“谈判筹码”,不会真的发生。

光刻机背后其实是计算力的较量,感兴趣的同学可以继续往下看,是一篇之前写过的长文。

14亿人的战争:中国人用了30年望见计算力的珠峰


文 | 史中

日本是一个喜欢“画面感”的民族。

从浮世绘、歌舞伎,到茶道、花道,到活着就是为了打篮球的《灌篮高手》、所到之处尸横遍野的《柯南》,总之,一哭二闹三上悠亚的日本,就是比四书五经六小龄童的天朝更讲究“排面儿”。

1941年冬天,日本飞机从云层中俯冲下来,直扑夏威夷的珍珠港。

很多美国军机的折翼都没来得及展开,就被按在机场的地面上摩擦,直接变成折翼天使,排面儿太美,不忍直视。直到今天,这都是行为艺术史上不可抹去的一笔。

干这事儿,日本海军司令山本五十六内心其实是一万个草泥马的。他是哈佛毕业的高材生,在灯塔国实打实生活过。

“主张和美国作战的,可以说是不了解美国的实力。美国生产力异常强大,海军官兵的行动也非常敏捷。我是军人,只要陛下一声令下我也会与美国作战。但是,我们尽最大努力恐怕也只能打上半年。”

这是山本开战前的原话。

果然,半年之后,中途岛一战,美国开始全面反攻。

那时候的美国究竟强在哪儿呢?

二战前,日本的工业产值占世界的3.8%,美国工业产值占世界的38.7%,底特律一条街的汽车比全日本的日车都多。

二战爆发后,美国迅速把全国的工业能力转向武器制造,从1941年到1943年,美军坦克产量从4052辆飙升到29497辆,翻了五倍。二战期间,美国造出了262524架飞机,在整体质量比日本高N个等级的情况下,数量还超过日本和德国的总和。

这些飞机坦克,美国还不是自己用的,而是给英国、法国、北非战场、中国战场整个反法西斯战线一起用,还绰绰有余的。日本投降,二战结束时,美国突然不用造飞机坦克了,干得正起劲的工人们还颇有些失落:建国200年都没这么好的工厂效益,这咋还不打了呢?

美国兵工厂的那种感觉,恐怕只有现在中国的口罩厂能够体会了。

二战期间在工厂里造炮弹的美国大姐

注意了,节目开始了!这段历史隐含了一个重要的问题:美国在战前生产的都是民用汽车,为啥变魔术似的说生产坦克就能生产坦克,还能毫无鸭力地运到亚非欧呢?

答案很简单,因为当时的美国拥有一个非常发达的“工业基础系统”,从四通八达的公路铁路海运网络,到上下游完整的生产线。这就像有了地基,你既可以在上面盖炮房,也可以在上面盖炮楼。这也称为“基建”(基础建设),是能够制造生产力的生产力。

爸爸的爸爸叫爷爷,生产力的生产力叫“基建”。

当时的美国可以一脸坏笑,对已经被打得和月球表面一样的中国说:基建是个好东西,希望你也有。

八十年过去了,我们终于有了史上最强的基建,公路遍布各村,高速公路遍布各市,高铁遍布各省,西电东送南水北调。美国人一偷懒,勤劳的我们就在东南沿海建起了全世界独一无二的工业分工体系。珍珠奶茶方便面,火锅米饭大盘鸡,床单被罩安全套,螺丝螺母电路板,只有你想不到的,没有我们做不出来的。

壮哉天朝,前途大好,这盛世如你所愿。。。

然而历史是个老司机,总是在你不经意间一个急转弯,冲上秋名山。

“计算机”这家伙,本来只是在战争中用来计算弹道的无名小卒,没想到二战后飞入寻常百姓家。这下事情朝着奇怪的方向去了:人手一部的计算机生生在现实世界之外制造出了一个“平行世界”——互联网。

在互联网里,什么山川河流大海国境线之类的阻隔全都被抹平了,人和人之间交流的唯一障碍只剩下文化和语言。正如1987年中国发出的第一封电子邮件里写的那样:越过长城,走向世界。(别笑,这是原话。)

这个平行世界在每个人的脑海里开辟了“第二战场”,而且像个泡泡一样越长越大,渐渐地人们抱着电脑手机,每天分配在上面的时间越来越多。第二战场的“战事”都快超过第一战场了,大有小三上位之势。

1995年,美国人抢购 Windows95

到了2020年,甄嬛眼看就要逼宫皇后,人们忽然发现一个要命的事实:为物理世界所做的基建已经成百上千年,为平行世界所做的基建才刚刚上路。

平行世界需要基建咩?既然是计算机创造出来的世界,最重要的基建之一当然就是——计算力。

从“计算力”的视角看这个操蛋的世界,你瞬间就像有了一副透视眼镜,能立刻读懂各个玩家的“底牌”。

接下来,中哥就带你重温一下这些紧张刺激干净卫生的“计算力里程碑”。

(一)一场“世纪大交易”

电影里,主人公动不动就和魔鬼做交易。现实世界没有魔鬼,只有美帝,我们只能和美帝做交易。

计算力的第一个里程碑:90年代引进西方的芯片、PC和操作系统。

人们经常会犯一个错误,那就是把现在的问题简单归罪于过去的某个选择。

有关计算力,一个流传很广的判断就是:现在我们在芯片上落后于美国,就是因为当年选择了“造不如买,买不如租”的策略。导致我们大量进口芯片,养肥了 intel,自己的芯片产业却被彻底摧毁。

这也是现在很多人骂联想“美帝良心”的逻辑出发点。目测现在装满美国芯片的小米手机也有这个趋势。。。

骂得倒没什么不对,中哥不抬杠。不过我很好奇:退回到过去,如果我们真的能闭关锁国,美帝的芯片一颗都不允许进来,我们的历史会怎样发展呢?

有一点可能大概率发生,那就是“全中国人用到高性能的个人电脑”这件事很可能推迟十年或者更多。我们用的操作系统也大概可以参考朝鲜的红星操作系统。(当然,红星系统也挺漂亮。)



我突然想到了雷军的故事。

当年雷军加入金山,和求伯君他们一起,完全靠自主研发,搞出了中国人引以为傲的 WPS。求伯君出席发布会都穿中山装,说:“中国人不能没有自己的衣服,也不能没有自己的软件。”

后来怎么样了呢?90年代在和微软 Office 的交锋中一败涂地。那时候,正版 WPS 480元,正版 Office 97元,盗版 Office 5元。就算 WPS 的盗版也卖五块,可是上百个“国产司机”研发的 WPS 当然不如几千“美国车神”研究的 Office 好用。老百姓们安装盗版盘的时候,可就把民族精神什么地抛在脑后了,哪个香就装哪个。。。


1997年,同场竞技的 WPS 和 Word
也许正是这段经历,让雷军明白了:“民族精神是要有,但前提是要活到下一集。”于是在小米的创业过程中,他肯定不愿意在同一个地方摔倒两次。别管小米手机里现在有多少美国芯片,起码小米活得还很好,所谓君子报国,十年不晚。

有人会说,我们宁可用“红星OS”,也要在芯片上争口气!假如国家强制支持国产芯片,电脑不好用,我们就不上网,不玩游戏不就得了,每天跳皮筋捉迷藏一样开心, 还能锻炼身体。这样忍一忍,不就忍成芯片强国了吗?

然而,这世界是个蝴蝶效应的系统,你改了初试设定,后面一定会引发连锁反应。

当年如果排斥美国芯片,代价很可能是:我们一直无法使用国际上最先进的芯片,基于芯片的软件发展也会随之被拖慢,中国互联网人口的增长会减速,于是,中国计算力的第二座里程碑很可能会被推迟。

计算力的第二座里程碑:“云计算”的创世。

这里有个很有趣的知识点:翻开历史,中国旧基建是由国家主导建设的,而新基建的历史却是由民企书写的序章。

说到云计算的创世,大概绕不过阿里云。


阿里这么伟大的吗?

并没有。其实不用避讳,民营企业,主要就是奔着挣钱去的。什么科技向善、实业报国,其实都是挣钱的副产品。有当然更好,没有也行。

中哥在《大数据时代的狗》那篇文章里写过,2008年,王坚博士被挖到阿里巴巴,最主要的目的就是为了建立一套大数据分析系统。大数据分析的目的,说白了就是要把商品更精准地推送给剁手党,让他们花更多的钱买买买。

大数据分析系统,在当时基本属于计算机应用科学王冠上的明珠。

要想有明珠,得先造个王冠。

大数据系统必须跑在云计算上,所以这个王冠就是云计算。

说到这,岔出去讲几句。其实在当时,最有希望夺下云计算王冠的是百度。百度出于广告业务的需要,比阿里更早地研发出了一套云计算系统。只是百度觉得,云计算系统只是个“基建”,只有个地基就拿出去卖钱,那不是奸商么?得在上面盖好楼盘再卖啊!百度所谓的“楼盘”,就是基于云计算的人工智能。

于是百度执拗地开始研究人工智能,一错神的机会,阿里云冲了出去,再一错神,连腾讯云都冲出去了。

犹豫就会败北,百度只能假装看不见,咬牙继续盖楼。万万没想到,这个楼是真费钱啊,才盖到一半儿,封顶无望,钱都快花光了,怎么办?老本行“竞价排名”那还能搞出来点钱不?什么?不能?不能也得能!!!

于是,技术实力最强且不想做奸商的百度却阴差阳错成为了公众眼里最奸商的奸商,简直就是奸商本商。。。

扯远了,说回阿里云。

其实阿里云的创立者王坚几乎就要复刻百度的命运——阿里云盖到一半儿,也没钱了。不仅没钱了,连人都跑光了。

当时阿里云员工的感觉,就像是1934年一个毛头小伙子刚刚满怀信心入了党,结果党中央要战略转移,开始爬雪山过草地地长征。如果不是最坚定的无产阶级战士,肯定是经历不住这种考验的。。。

幸亏啊,幸亏,幸亏马云爸爸在全体大会上稳住阵脚:“我一年给阿里云投10亿,投上10年,到时候再看!”

实际上,王坚博士喊了五年的信仰,最后是被马云花10亿给捞回来的。

马云和王坚

所以中哥一直说,抛开金钱谈信仰,就是耍流氓。(马爸爸退休之前的“福报论”不就是抛开金钱谈信仰么。。。)

阿里云这群疯子死去活来一折腾,客观上却给全中国建立起来一个云计算的底座。

当然,如果说中国的云计算底座仅仅有阿里云是不客观的。应该这样说:在中国最大的云计算底座阿里云的鼓舞下,一众大公司和创业者都开始坚信“云计算”这条道路,敢于把命运赌在其上。(用人话说就是,阿里看到钱了,大家都想分一杯羹。)

于是,众人拾柴。

腾讯云、UCloud、金山云、百度云、华为云、电信天翼云这一众英雄冲出历史的尘埃,踩着更多如今已经湮灭在时光洪流中成千上万的云计算厂商的尸骸,杀了出来。

直到这时,他们才顾得上喘口气,回望太平洋对岸。

亚马逊的 AWS,微软的 Azure,谷歌 Google Cloud 形成美帝的云计算基础设施,开始全球扩张,而在这千钧一发的时候,中国云计算企业拍马赶到战场——最先起跑的阿里云,还有很早就出海的 UCloud,还有靠游戏碾压世界的腾讯,还有在2000年左右就完成国际化的华为,都迅速顶住美国云计算厂商的进攻,在世界棋盘上圈住属于自己的地盘。

这个是2016年全球三大云计算厂商计算中心的世界分布,黑色的点位是阿里云

了解了以上,我们再来回看中国计算力的历史,来路就很清晰了。

如果不是当年借助美帝的芯片让 PC 在中国普通家庭里快速普及,就不会有上亿的互联网人口,也不会有如此多的网购、游戏玩家和内容消费者,如此,阿里巴巴也就不会有冲动去建立大数据分析系统,阿里云在2008年创世的可能性就会大大降低,在这一波美国云计算公司的全球扩张浪潮中,我们很可能又签个《辛丑条约》之类的。

条约一签,再想翻身有多难,可以参考1900年。

回到我们的话题,总结成一句话应该是:在历史的长河里,我们用芯片的代价争取了宝贵的时间,换回了世界顶级的计算力基础设施——云计算。

你会说,那芯片这一课我们就永远补不上了吗?

别急,故事还在继续。

(二)“社畜”一样的服务器

地基之所以坚固,是因为它由混凝土浇筑而成。云计算之所以坚固,是因为它运行在一个个靠谱的服务器之上。

服务器这东西听上去很专业,其实说白了一点都不神秘,就是大号的电脑主机。

假设把云计算比作人的思维,那么服务器就是产生思维的这个大脑实体,对,就是你吃火锅涮的脑花。

这就是猪界服务器

你可以简单地认为,电脑和服务器的发明者都是一个公司:IBM。

IBM 最早的大型机服务器 System360

又是美帝的公司,真让人泄气。

“那不用问,中国云计算死去活来搞了那么半天,肯定跑在 IBM 的服务器上吧?”

你错了。

中哥都说了历史是个老司机。在服务器领域,历史又趁你不注意,一个急转弯,开上了秋名山。

本来,IBM 可是一手好牌,俩王带四个二。


当时日本东海银行就买了一台 IBM System 360,员工们终于可以扔掉了算盘,早下班陪家人了。

IBM 服务器畅销到什么程度呢?2008年前后,阿里巴巴买 IBM 的服务器(小型机),那就跟玩儿似的。为了维持业务,恨不得淘宝网的利润的一大块都要用来买这货,可想而知 IBM 做梦都能笑出来。

结果呢?

刚才说了,王坚到阿里巴巴,要做大数据分析系统。而大数据系统是很耗费计算力的。
打个比方吧:如果说一般的数据系统好比一辆轿车,百公里也就烧十个油,那么大数据系统就是民航飞机,跟喝汽油一样。需要的计算力大了几个数量级。

这玩意儿要是再跑在 IBM 的小型机上,那阿里的生意不要做了,光买 IBM 服务器就能买到破产,一年到头估计还得欠 IBM 好几个亿。

于是,阿里巴巴决定,新做的阿里云系统坚决不能跑在 IBM 的 Power 架构服务器上,而是要跑在便宜的 x86 服务器上。

x86 服务器,说白了就是使用 intel 芯片的服务器,你日常用的个人电脑就是 x86 架构的。

Power 架构是 IBM 提出来的,所以他自然就会守着这个架构不放,觉得个人电脑的 x86 架构难堪大用。当时虽然在 IBM 内部也有 x86 架构的服务器团队,但是基本上就是“后娘养的”,连个窝头都吃不上。

结果,死贵死贵的 IBM 终于成了各大厂商围殴的对象。阿里巴巴专门发明了一个词,叫“去 IOE”,其中的“I”就是 IBM。要不是恨到了一定程度,不会专门起个名骂它的。。。

其实,阿里巴巴弄得这么热闹,完全是自找的。因为腾讯和百度就压根没考虑过 IBM,他们从一开始就在用 x86 架构的服务器。(这是因为阿里巴巴的电商业务对数据准确性和计算力要求更强。)

x86服务器哪家强?在那个时代,国际上最强的 x86 服务器厂商应该是戴尔和惠普。这很合理,因为他们过去就是生产个人电脑的。

好不容易把 IBM 搞掉了,替换它的还是美国公司。。。

故事讲到这里,终于有一家中国公司强势插入我们的主线故事,那就是浪潮。

相比阿里巴巴,了解浪潮的人就少多了。浪潮脱胎于山东电子设备厂。想当年中国第一颗卫星东方红一号里面,就有他们生产的晶体管。

在90年代,浪潮的带头人孙丕恕就主持研发出了中国第一台 x86 的服务器,他也被称为中国服务器之父。

中国第一台 x86 服务器,浪潮 SMP2000,里面有10颗 intel “486”CPU

由于研发出了最早的 x86 服务器,国家863计划把后续研究 x86 服务器的重担都交给了浪潮。这么一指派,就阴差阳错地让浪潮站在了历史的风口上。

这一波云计算的兴起,浪潮可算是抓住机会,奔走在各大云计算厂商之间。论价格,我比国外服务器便宜,论定制化,我什么姿势都能给。(参考《浪潮网恋史》)

眼看浪潮如今(2020年初)已经冲到了服务器世界第三的位置,不仅行销全国,还卖到了亚非欧美拉,中国人倍有面子。当然,紧随其后的还有“彪悍的人生不需要解释”的华为和收购了 IBM x86 服务器业务的联想。

x86 服务器

注意,这里有一个很有趣的现象。

x86 服务器之所以能流行,是因为它是一个开放的生态,intel 只生产最核心的那块 CPU,至于服务器的其他部件,它给出标准,谁生产都行。

这有点像手机,反正就是芯片、电池、主板、外壳,不需要很高的技能就可以组装。这样的话就会导致一个结果:品牌机肯定便宜不过山寨机。

于是,在服务器领域,也出现了一票“山寨机”。这些山寨机一般是由戴尔、惠普在台湾的代工厂所生产的,由于不挂戴尔、惠普的标,所以也叫“白牌服务器”。

白牌服务器很便宜,炒鸡便宜。

白牌服务器

于是,我们走到了计算力的第三个里程碑。

计算力的第三座里程碑:服务器的“社畜化”。

在现代工业体系的加持下,服务器越来越像社畜。

你出门买一袋盐,会很在意你买的是什么牌子么?大多数人不会。工头让你去买砖,你会去特意买什么品牌的砖吗?也不会。老板招一个程序员,会关心他身高体重家庭背景吗?不会。为啥呢?因为在现代化工业体系下,盐和盐基本都一样,砖和砖基本都一样。社畜和社畜差不离。

同理,服务器和服务器也很类似。

而且,云计算厂商之所以敢放心地购买白牌服务器,还有一个原因,那就是上层的软件系统已经被打磨得很完善,坏一台服务器,软件立刻就把工作负载无缝转移到别的服务器上。就好像你突然进了 ICU,老板一分钟之内就可以把你的任务分给其他社畜,你死不死,无,所,谓。



还记得我们之前说的么:计算力的底层是服务器,服务器的成本很大程度上会决定计算力的成本。降低服务器成本的秘诀你可能猜到了,只有三个字:富士康。

当然,富士康只是代名词,在服务器代工领域的大佬是英业达、纬创之类。它们都是台湾公司,而台湾是中国领土不可分割的一部分。

说到这,中哥又要重复一遍我们的中心思想了:

在历史的长河里,中国用芯片的代价争取了宝贵的时间,换回了世界顶级的计算力基础设施——云计算。云计算又反过来把服务器产业链抓在自己手里。

你可能会说,服务器代工厂都在台湾,这不保险吧。。。

确实不保险。其实,中国大陆已经崛起了很多代工厂,例如比亚迪就刚刚接手了华为手机的代工,闻泰科技一直为小米手机代工。前段时间,郭台铭也很有诚意地把富士康的一部分挪到了大陆来上市,名为工业富联。

故事讲到这,你会发现,我们拥有云计算技术,也可以把控服务器代工产业,整个计算力链条里,只有一件事儿似乎还超出我们的控制,那就是服务器里的芯片。

终于到了芯片。

(3)“芯片”,出来混总是要还的

中国人一直想在芯片上摆脱“卡脖子”的,例如龙芯、飞腾、兆芯。我们最初确实想用这些芯片替代 intel,进入中国的个人电脑市场。但是这条路已经被证明失败了。因为 intel 和 windows 形成了联合生态,想用 windows,就得用 intel。当年把 intel “引狼入室”的那一刻,就注定了我们很难再把 intel 替换掉。(别说中国人,美国人也换不掉。只不过 intel“恰好”是个美国公司。)


特德·霍夫是 intel 第12号员工,他发明了世界上第一个 CPU。上图是他和第一款 CPU intel 4004 的示意图。

但是,随着计算力作为基础设施存在,芯片的自主可控希望又回来了。

因为人们需要的是计算力,而计算力底层是服务器,服务器底层才是芯片——只要能提供计算力,底下爱是什么芯片就是什么芯片。

例如华为,就在做一款 x86 架构的“备胎”,基于 ARM 架构的处理器:鲲鹏处理器。

ARM 和 intel 有什么区别呢?

intel 会把生产好的芯片卖给全世界,ARM 却卖“图纸”——芯片 IP 授权。其他公司买了这个授权,可以自己找人去生产。

简单说:如果把 intel 比作卖大米的,那么 ARM 就是卖种子的。如果没了大米,我们下个月就饿死。如果没了种子,我们明年才饿死。。。

所以,你大概明白:从 intel 换到 ARM,说白了是从一个依赖换成了另一个依赖,只不过依赖变小了。



不过,ARM 是一家英国公司。而且 ARM 被软银收购了,也算是一家日本公司,这和美国有关系吗?有关系。研究 ARM 芯片的主力工程师都是美国人,美国人威胁说:芯片里有超过 25% 的美国技术,美国不同意,ARM 随便卖就违法!

2019年,ARM 就因为美国的威逼利诱,宣布暂停和华为的合作。不过英国人也很刚,后来完成了法律方面的确认,说我们的技术跟美国人没关系,100%属于英国,想卖谁卖谁,继续和华为做生意。

看到这,你可能都烦了,怎么说来说去,芯片总也摆脱不了对美国的依赖啊?

别急,接下来就到了我们的第四个里程碑。

计算力的第四座里程碑:芯片开源。

要我说,华为依附于 ARM 做了这么多年芯片,最主要的目的其实是锻炼一支可以“魔改”芯片的队伍,有朝一日找到新机会,这支队伍可以直接杀出去从头设计一套芯片。

其实,在芯片领域,已经出现了一个“没有国籍”的架构,这就是始于加州大学伯克利分校的 RISC-V 开源架构。

开源,意味着全世界的大神都在给这个架构做贡献,代码也是完全免费公开的。于是,再也没有人可以用任何理由来控制它。

RISC-V 的处理器原型,2013年

说到这,又得说回咱们的梦想家,中国云计算第一把交椅的所有者,阿里巴巴。

2018年,阿里巴巴收购了芯片公司“中天微”,重组为“平头哥”。这名字一看就是马云给起的,所谓“生死看淡,不服就干”。冲这名字,也是一场大战在所难免的节奏。。。

平头哥推出的第一款芯片IP——玄铁910,就是基于 RISC-V 架构的。



当然,目前 RISC-V 架构主要用于“小玩意儿”上,例如物联网设备,难以作为服务器芯片。但是想当年 ARM 芯片也被认为是用在小玩意儿上的,如今不也被华为用来做服务器芯片么?

有大佬认为,随着 RISC-V 的成熟进化,计算力会迅速提高,大概五年之后,它就可以应用在服务器上,作为排在 intel 一号备胎 ARM 后面的二号备胎。

这并不意味着云计算厂商真的要用 RISC-V 替换掉 intel 的芯片,只是如果中华民族真到了“最危险的时候”,intel 不卖给中国芯片,ARM 也不卖,那我们没有白面至少还有棒子面。但想饿死中国的计算力,那是不太可能了。

而且,在芯片领域正在发生一个影响极其深远的变化。

受限于科学天花板,芯片技术的步伐已经放缓了,intel 都被称为牙膏厂好久了。这个时候,要想提升计算力,最好的方法就是从“通用计算”变成“异构计算”。

“通用计算”和“异构计算”有啥区别?举个例子你就明白了。

通用计算就像是大学生,学好数理化,走遍天下都不怕,绝大多数职业都能干。

异构计算就像是博士后,在一个非常窄的行业里他是专家,但是如果逼他做其它行业的事情,很可能效率奇低。

例如,人工智能芯片就是典型的“异构计算”。在这个领域 NVIDIA 是领头羊,但并不是不可撼动的巨头。全世界有技术力量的公司都在开发属于自己的AI芯片,这其中也包括阿里巴巴、华为、百度等等。

综上所述,中国企业造芯片,各方面所受到的限制都在快速减少,中国芯片的春天才刚刚来临。

不过刚才我们说的,其实都是芯片设计。然而,即使中国掌握了全球顶尖的芯片设计技术,我们还面临一个更巨大的问题:没办法把芯片造出来。

因为,造芯片需要一种究极神器——光刻机。

(四)物理世界和网络世界的交汇点——光刻机

光刻机的技术有多高级,看看这个知乎提问,可以感受一下:



有人这样形容光刻机:这是一种集合了数学、光学、流体力学、高分子物理与化学、表面物理与化学、精密仪器、机械、自动化、软件、图像识别领域顶尖技术的产物。

它大概长这样。

光刻机示意图

别看说得这么热闹,其实这玩意儿的工作原理就是用“紫外线”作刀,对晶圆进行雕刻,让芯片上的电路变成人们想要的图案。四个字形容:“硅上雕花”,跟扬州修脚的“肉上雕花”一个意思。

这是刻出的芯片图案

不过,同样是“雕花”,你看看数据就知道光刻机比修脚师傅厉害到不知哪里去了。

现在最先进的 EUV 光刻机可以做到的“雕刻精度”是7nm,这相当于一根头发的万分之一。

由于要达到这样的雕刻精度,在雕刻的过程中晶圆需要被快速移动,每次移动10厘米,可是误差必须被控制在纳米级别。这种误差级别相当于眨眼之间端着一盘菜从北京天安门冲到上海外滩,恰好踩到预定的脚印上,菜还保持端平不能洒。

做出一个芯片大概需要3000步工序,由于每一步都是“硅上雕花”,有一定失败概率,三千步下来,要想让最终的成品合格率大于95%,那么每一步的失败率就必须小于0.001%。

为了达到这种效果,最先进的光刻机上有10w个零件。(一辆汽车大概是5000个零件)

光刻机就像科幻小说里的虫洞那样,这边是物理世界,那一边是赛博世界。



以前,全世界能批量生产高端光刻机的厂家只有三家,荷兰 ASML,日本的尼康和佳能,但是最新一代光刻机研发烧钱烧得太邪乎,尼康和佳能基本已经弃疗了。目前,ASML 一家占据全球光刻机市场的85%,利润的107%。

2012年,在研究最新的 EUV 光刻机时,ASML 也觉得研发费用无底洞,想放弃,差点从 ASML 变成了 AWSL。结果那些等着光刻机续命的芯片企业慌了,intel、三星、台积电从家里拿来大几十亿美元支持 ASML,求它再坚持一下。

于是,ASML 终于造出了能制造 7nm 制程芯片的光刻机,每台卖一亿美元。。。

一亿美元,其实不贵,也就北京几套房。

但问题仍然是:光刻机不是你想买,想买就能买。

说到这里,就要提到1996年签署的《瓦森纳协定》。瓦森纳协定本名叫“瓦森纳安排机制”。简单来说就是:美国带着他的小伙伴不把东西卖给别的国家。我不知道都有哪些国家被“安排”了。反正中国是被安排得明明白白的。

就拿光刻机来说,中国台湾的台积电想买多少有多少,而大陆版的“台积电”——中芯国际——订了一台7nm光刻机,据说到现在都没拿到出口许可证。于是,目前中芯国际最精细的制程是14nm。

这就导致一个结果:截止2020年春天,中国大陆没有制造7nm制程芯片的能力。而目前最尖端的芯片,例如华为手机的最新芯片(麒麟980、麒麟990)已经是7nm制程的,如果台积电被逼选边站搞事情,中国大陆企业就很难受。

中国可以生产光刻机吗?

答案是:可以。

中国最牛的光刻机生产商是上海微电子装备公司(SMEE),它可以做到的最精密的加工制程是90nm,相当于2004年最新款的 intel 奔腾四处理器的水平。

SMEE 的光刻机

别小瞧这个90nm制程的能力。这已经足够驱动基础的国防和工业。哪怕是面对“所有进口光刻机都瞬间停止工作”这种极端的情况时,中国仍然有芯片可用。

在这种情况下,“断供”就达不到“弄死人”的效果,最大的作用其实是“谈判筹码”,不会真的发生。

于是,中国这两年芯片进口价值超越了石油,蔚为壮观。计算力“基建”的最后一颗龙珠也基本稳住。

这些芯片进入了服务器和移动设备,成为了云上算力和端上算力,组成了庞大的“互联网基建”,组成了下一个大时代的入场券。

这篇文章写于2020年,如果你来自未来,你可能还会记得这一年是个特殊的年份。

这一年,病毒来袭。好多人都宅在家里,对着网上的菜谱做饭,对着摄像头开视频会,在微信和钉钉里商量方案。

这一年,很多生产线的调度管理任务开始被自动化系统接管,比人效率更高,出错更少。很多机器人奉命在楼宇中喷洒消毒剂,还接管了快递的配送任务。

这一年,人们为了对抗病毒,在武汉修建了火神山雷神山两大医院,医院所有的计算力都来自于云端,人工智能帮助医生查看患者肺部的片子,为抢救生命节省宝贵时间。杭州、北京的专家可以通过5G信号和奔腾的光缆,远程为患者做实时诊疗。

这一年,巨头们火速开发了基于大数据的健康系统,扫一个码就能同步所有健康信息。

这一切,都依赖于我们的计算力基建。

这是2020年春天,小朋友通过“云课堂”上课

雷神山医院在用 AI 做肺炎诊断

(五)枪和玫瑰

我们的故事得停在这里了,因为未来尚未发生。

你可能觉得惭愧,在中国计算力这个宏大的故事里,自己好像并没做什么贡献。不过中哥得说,你的贡献很大。

1998年你打开“红警”“仙剑”的时候,2000年你进入网易聊天室的时候,2004年你小心脏怦怦跳着注册QQ号的时候,2005年你心惊胆战地在淘宝上下第一单的时候,2010年你把诺基亚换成跑着安卓系统的 HTC 的时候,2014年你刷着微信朋友圈愤世嫉俗的时候,2017年你羞涩地发出第一条抖音视频的时候,2020年你第一次使用钉钉远程开会的时候,都在为这个国家的计算力“基建”做贡献。

于是,每个人具体的生活轨迹和奋斗历程,汇成了技术史的一个侧颜。14亿人用了30年,望见了计算力的珠峰。

科技不仅能制造原子弹,也可以煮出茶叶蛋。科技并不仅仅能计算弹道轨迹,也可以计算外卖的最佳路径。科技让你我这样的普通人也能在岁月里获得快乐、安宁、勇气和尊严。

科技是枪,也是玫瑰。

有时人们持枪远征,荒废了玫瑰园;有时人们沉迷园艺,家园却被铁蹄踏平。

而在那些伟大的故事里,人们手握钢枪,身后鲜花盛开。


再自我介绍一下吧。我叫史中,是一个倾心故事的科技记者。我的日常是和各路大神聊天。如果想和我做朋友,可以搜索微信:shizhongmax,微信公众号:浅黑科技(qianheikeji)


知乎链接: 史中:14亿人的战争:中国人用了30年望见计算力的珠峰


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利益相关,荷兰A厂在职研发工程师。

这里不说我自己的故事,说一个我朋友A的故事。

A跟我本科同学,毕业后在国内读研,之后进入上海S打头光刻机厂商,年入大概20W。

入职之后A也年近30,该成家了。经朋友介绍去相亲,见了相亲对象B,两人对彼此都有好感,然后就在一起了。

随着了解的深入,该到了谈婚论嫁的地步,B的父母觉得A小伙子也不错,但是结婚的前提是希望A在上海买套房。这时候A跟B摊牌说自己每年只有这20W死工资,家里顶多拿50W出来,一时半会很难买房,希望结婚后两个人一起奋斗。

A在我们班一直是学霸的存在,进入S厂之后也是一心钻研技术,996是家常便饭,有时候10点多才回到他称之为家的出租房,那段时间跟他聊天,他还是很快乐的,说自己现在做的事情完全满足了之前实业救国的情怀,每次想到研发光刻机打破西方垄断就热血澎湃。

就这样,A和B两个人因为房子问题一直没有领证,B也渐渐的觉得A脑子太死,只知道天天研究技术,从来不想办法多赚点钱或者升个职,两个人矛盾越来越多,最终分手,据B说,分手原因是A没有上进心,以后就算结婚了,有了小孩各种需要用钱的地方,A这样的男孩子让她看不到未来。就这样,一个满怀情怀,刻苦钻研技术,企图实业报国打破西方垄断的年轻人,就被扣上了「没有上进心」的帽子。

后来听说,B分手后谈了一个在券商工作的金融男,年入四五十W,已经买了房,现在准备结婚了。而A呢,加班越来越多了,收入稍微涨了一点点,房子还是没买上,分手后他想了很多,最近工作也没那么有热情了,已经有了转行的想法。

据说,S厂十年才投入了9000W,而我厂的一个小供应商都不止花这一点,卡脖子都卡成这样了,A这种人待遇都没怎么变,还把人往金融计算机赶,可能是还不够卡不够难受?

我看,就这样下去,靠着大把的高智商金融男金融女,我们的EUV光刻机马上就能搞出来了。


随便写了写身边的事情,也没想到会有这么多人看,底下有人说我对金融有敌意,这并不是我的本意,让金融从业者有这种想法我感到抱歉,每个人都有自己的选择,因为热爱或者是经济原因选择金融业完全是无可厚非的,我如果是今年高考可能我也会选金融而不是工科。只是我痛心国内传统工科人才的待遇之低导致了大量人才流失,而这些人是共和国的工业基础。这些年见过太多优秀的年轻人,因为现实问题放弃喜欢的工科专业转投金融,不管是高考报志愿时还是后期转专业或者跨考转行。这些年轻人太优秀了,智商又高又勤奋自律,如果他们的能力能发挥在工科的话,会给我国的工业技术带来我们今天可能难以想象的发展,看到这些人的离开真的感觉非常痛心和可惜。

然而,想要解决这个问题,只靠资本和市场是不行的,必须依靠国家力量的介入,但是国家力量应该以何种方式介入,如何建立一套效率高的人才培养体系,我觉得是一个很复杂的优化问题。我们国家最近几年从高等教育入手已经开始试图解决这个问题,比如卓越工程师计划等等人才培养体系,但是我觉得高校仅仅是开始,而产业和社会才是重中之重,如果高校和产业之间的衔接做不好,高校培养的卓越工程师还是无法切实的为工业界服务,如果他们因为种种原因被迫转行,那么卓越工程师培养计划在这个年轻人身上的投资就浪费了,所以,我们要引导资本更多的流向做实事 的公司,只有他们才能良好的衔接高校培养的优秀工程人才,给他们提供岗位,提供平台自我发展,从而推动整个行业的发展,而不是将资本引向武汉弘芯这样的公司。

高度竞争的北上广确实会无限的调动年轻人的积极性,但是往往很多技术的基础研究都需要有高度安全感的生活氛围作为基础,一个疲于奔命,为老小教育医疗操碎心的年轻人是无法潜下心来做研究的,这与这个人的情怀和人品无关,只是所有人都有老人和孩子,都想给他们提供稳定的有保障的生活。所以,究竟什么样的社会模式是最适合我们在工业领域赶超西方,这是我们现在最应该思考的一个问题。

有朋友纠结关于高科技企业选址的问题,那就顺便贴两张A厂所在地的二手房价格,都是荷兰最常见的那种联排别墅,两层或者两层半带后院的那种,精装修。当然,荷兰首都阿姆斯特丹的房价绝对不比北上广低,所以北上广的高房价也有他存在的合理性。只是在欧洲,这种高科技公司,包括给光刻机生产镜头的蔡司,都是在很小的镇上,基本没有任何一个大型的高科技制造业公司选址在一线大城市,但是相对平均的资源配置保证了在小镇上生活质量不会比一线城市低,甚至更高。


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其他回答比较现实了,为了该问题下回答的全面性,我从我国光刻机发展的历史角度简单说一下,也方便大家了解我国光刻技术的发展脉络。

不是中国人造不出光刻机。

我国早在60年代就曾自主探索光刻机领域且制造技术在当时世界各国中较为先进,那时如今的光刻机巨头ASML还没诞生,日本的Nikon和Canon于60年代末才刚刚开始进入这个领域。

1962年我国第一代硅平面晶体管问世。而平面工艺,主要就是利用光刻技术和二氧化硅膜的掩蔽作用来进行选择扩散和电极的蒸发[1]

随之而来的是1965年,我国第一块集成电路问世,基本说明我国利用光刻技术制造集成电路的时间线可以推到60年代中期。

可见,中国光刻工艺的研究,虽比美国稍晚,但跟日本差不多同时起步,比韩国、中国台湾早10年。

到70年代,中国电子元件的规模制造已在几个主要城市开展。1972年,武汉无线电元件三厂编写出版了《光刻掩模版的制造》,如图所示。

1965年中国科学院研制出65型接触式光刻机。随后上海光学机械厂也试制成功了半自动接触式光刻机[2]

1970年代,中国科学院也开始研制计算机辅助光刻掩模工艺。

70年代末,中国科学院半导体所开始研制JK-1型半自动接近式光刻机,并在1981年研制成功两台样机[3],并在生产线中投入使用。

清华大学研制第四代分步式投影光刻机,并在1980年获得成功,光刻精度达到3微米,接近国际主流水平。机电部45所也研制出了分步光刻机样机,采用436纳米G线光源。

但是很可惜,在1980年代放弃电子工业的自主攻关,诸如光刻机等科技计划被迫下马。

像上面提到的武汉无线电元件三厂,1994年破产改制,卖副食品去了。


多说一句,从今天来看,当年退局大概是因为当时并没有完整的产业链,尽管单项技术当时在世界诸国中并没有落后太多。当然如果强行硬上,会带来一定的经济成本和其他相关技术跟不上的困难,但在十余年中基本上放下攻关还是不理智、不长远的。上海微电子在2002年承担光刻机攻关项目时还聘用了45所从事分步投影光刻机的技术人员,可见这十余年间光刻相关技术人才出现了断档。

中国这些年打下了中下游的大半壁版图,并一直向产业上游进军,是形成完整产业链的一种方式。而以特朗普为代表的一股力量现在想把部署数十年的全球产业链变成本土产业链,恐怕之后各国都不好受(即使是美国,怕是也要面临数年的工业回流期带来的产能效率问题)。

参考

  1. ^利用光刻技术和二氧化硅膜的掩蔽作用来进行选择扩散和电极的蒸发 https://baike.baidu.com/item/%E5%B9%B3%E9%9D%A2%E6%99%B6%E4%BD%93%E7%AE%A1/8918982?fr=aladdin
  2. ^ 《仪器制造》,1981,NO5,P45
  3. ^ 《光电工程》1981年第05期

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符号意义大于实际意义。

90nm的制程什么概念呢。

举个例子,小米能作相机,老蛙也出镜头。的确,外国给你断供的时候也能照相,但是你看奥运赛场上哪个记者拿着小米+老蛙当主力机器?大家真刀真枪PK的时候,你只有哭的份儿。

本质和两桶油类似,打着国之重器的旗号,大把的浪费税银,到最后满脸的尴尬——尚未发挥重器的作用就被淘汰了……

比如,两桶油亏了多少年?现在石油跌成负数,用油大户——车辆,在推行清洁能源。

应该考虑的不是怎么作先进的光刻机,而是要考虑:

1 为什么人家不断供别人,而是要给你断供?

2 天天在高校里搞这种东西,很难作出光刻机的——别人的大学是在鼓励创造,我们是在鼓励什么?


@买履带的小火柴 @自动忽略该昵称吧 @吹风 @娜拉走后会怎样 @XMRZ

某些小颜色可能不爽,总问第一个问题的答案,那我讲个故事吧:

有个班级叫大地:里面很多同学,有个红姓同学因为一段时间天天搞没用的阶级斗争,饭都要吃不上了,班级里有个小组,里面的成员家庭条件都不错,互相还买卖点零食啥的,看着红同学饿的面黄肌瘦,决定拉他一把,让他加入这个买卖零食的小组,当然这个小组不是义务的,是有偿的,需要大家互惠互利,你不能光卖不买,享受待遇不尽义务。但是考虑到红同学家庭困难,大家就决定给他最惠待遇,而且先让他光卖不买攒点家底,等到有钱了再尽义务。结果红姓同学得到了实惠之后,不尽义务,而且搞垄断,盗版等等毫无底线的事情,把小组的环境搞得乌烟瘴气,大家觉的此同学毫无诚信,因此和他交往的时候都开始留一手,并且成立另外一个小组,不带红姓同学一起玩了,红姓同学说:你们都要害我!


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我国的一个顽疾就是强调科研人员艰苦奉献,越是基础的领域,越是要求科研人员发挥精神,舍生忘死。可惜的是,越是基础的领域,脖子被卡得越死。

当然,从人性来说,这是很惯性化的一件事情,毕竟杀头的买卖有人做,赔钱的买卖没人做。你投一百亿到光刻机,肯定做不到ASML的水平,做出来了一台也卖不了太多钱,市盈率低到尘埃。

指望资本来做这件事更不现实,资本永远青睐高收益的行业,比如互联网,比如金融。我个人建议是与其国家要求科研人员发挥精神,不如国家先发挥精神,多给点钱,多招几个人,别寒了莘莘学子的心。与其大家都挤到互联网疯狂内卷996,不如让一部分学子能拿上互联网行业的平均薪资,然后做一点更加基础的东西。


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我看了这些高赞和一些低赞的回答,说了些啥啊?有说国内谁在给国产光科技做配套么?有说实际的进度如何么??

都没有啊,要不就尬吹,要不就讲历史,要不就带情绪,有啥用啊?

来,国产光刻机配套企业及其目前进度

上海微电子装备集团——光刻机整机制造

长光所、上光所、国科精密——光刻机曝光光学系统

科益虹源——光刻机光源系统

华卓精科——光刻机双工件台系统

启尔机电——DUV光刻机液浸系统

国科精密NA0.75级的曝光系统通过验收,NA1.35级正在路上

科益虹源40W激光器搞定了,有消息说60w的也搞定了

华卓精科干式双工件台导入SMEE,但浸没式还在开发,并且干式精度不够,overlay估计在5nm左右

启尔机电的试产基地建完了

长光所在基于哈工大dpp-euv光源研究euv光刻机曝光系统

所以,根据以上信息推测,smee如果要出下一代光刻机,大概率是193nm-arf步进扫描投影光刻机,对标的,可能是nxt1950i或者更之前的机型。

想直接对标1980或者2000i,有两个问题,一个是浸没式双工件台还在开发,一个是工件台精度不够。

这些信息很难收集么???

有人讲过02专项是什么么?




     

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