几万个电子束发生装置构成矩阵能不能直接显示光刻图直写光刻机？ 第1页
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andre-31-44 网友的相关建议:
这当然是可以的，而且有成熟产品（所以说你能想到的，世界上其它地方总有人能想到）。
2014年荷兰Mapper公司与俄RUSNANO公司合资在莫斯科组建一家生产无掩膜光刻机核心组件微机电光学元件的工厂。该工厂生产的电子光学元件可以将一束电子束分成13000束电子束，并对每束电子束进行控制，从而极大提高了无掩膜电子束光刻机的生产效率，使这类光刻机用于设计阶段样品制造外，更加适应小批量生产的需求。
Mapper公司多束无掩模光刻机，可以用于32纳米制成
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