中国首台 3D 封装光刻机正式交付，这意味着什么？封装光刻机和芯片光刻机有什么区别？ 第1页
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后道机之前就沸腾过好几次了，不过放在后道机里面确实算先进。只不过我们通常说的光刻机是前道，不是这种。之前是ssb520，不知道这个是啥型号，可能也是同款。
评价就是反正有了也挺好，技术上能积累多少不清楚但还是有帮助的。
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