光刻机里的双工件台为什么都是在运动的？ 第1页
1
lymph-95 网友的相关建议:
双工件台，即在一台光刻机内有两个承载晶圆的工件台。两个工件台相互独立，但同时运行，一个工件台上的晶圆做曝光时，另一个工件台对晶圆做测量等曝光前的准备工作。当曝光完成之后，两个工件台交换位置和职能，如此循环往复实现光刻机的高产能。
在2000年前，光刻设备只有一个工件台，晶圆片的alignment 和exposure流程都在上面完成。直到2001年，ASML推出了Twinscan双工件台系统，使得光刻机能在一个工件台进行曝光晶圆片，同时在另外一个工作台进行预对准工作，并在第一时间得到结果反馈，生产效率提高大约35%，精度提高10%以上。而随近年来技术的持续改进，双工件台的效率得到了持续的提升。
具体可以参考如下网址：
1
相关话题
我国的光刻机开发得怎么样了？长江存储在半导体行业处于什么地位?
现在日本对韩国的半导体行业制裁到底有没有没有影响，为什么没有后续报道了？
为什么不能把桌面版的 CPU 做的很大，从而来提升性能？
未来想进入中芯紫光海思大鱼等半导体公司，请问研究生攻读什么专业呢？
如何评价梁孟松？
国产芯片为什么要一级级地追赶，而不搏一搏，直接造同时代标准的？
纯内资半导体厂商在车用芯片领域路在何方？
长江存储在半导体行业处于什么地位?
既然ASML能造出光刻机，那么处于光学顶尖的卡尔蔡司也有这个实力吗？
相关的话题
中芯国际和长江存储对比？日本在中国建厂，然后招聘半导体芯片设备配合技术人员进行调机，配合度要高动手能力要强不需要有经验靠谱么?
集成电路先进封装技术有2.5D和3D，请问这两种封装技术有什么具体的区别？
为何光刻机已经步入7nm时代，主流PC部件的尺寸还是如此“狂野”？主流计算机硬件的尺寸主要由什么决定？
半导体工艺中为何用去离子水？
国产中端光刻机投产哪些产品会迅速掉价？
谁才是台积电的第一大客户？
如何看待中芯国际绍兴项目?
如何评价中芯国际 14nm 工艺？量产芯片对中国科技有哪些意义？
为什么现在手机芯片都是量大管够，汽车芯片却缺货了？
台积电、联电等晶圆代工厂Q3继续涨价，最高上涨30%，释放那些信息？
长江存储在半导体行业处于什么地位?
如果我国实现 28nm 芯片全产业链国产化，能够满足国内多少比例的芯片供应？
近一个世纪以来基础物理是否没有进步？半导体工业是否会因此陷入停滞？
如何看待长江存储在半导体行业的崛起？
14nm光刻机是怎么做出7nm和5nm芯片的？
美国为什么不把台积电这样的企业建在日本？
传自 2019 年起 100 多位台积电员工被挖到大陆，意味着什么？有哪些值得关注的信息？
台积电最终决定在日本建立第一家芯片工厂，意味着什么？
中芯国际发布 2021 第二季度财报，二季度毛利为 4.05 亿美元，还有哪些值得关注的信息？
如何看待中科院8英寸石墨烯晶圆问世？石墨烯芯片还要等多久？石墨烯会让光刻机退出世界舞台吗？
中国的国足和半导体，谁更加难突破？
如何评价Intel 的IDM 2.0模式？
如何评价 ASML 在财报披露 2021 年营收约合人民币 1339.6 亿元？
日本在中国建厂，然后招聘半导体芯片设备配合技术人员进行调机，配合度要高动手能力要强不需要有经验靠谱么?
长春国科说110nmKrF光刻机的光学装置已成功交付上海微电子，这个光刻机哪个地方使用？
如何评价台积电发布的 N4P 工艺，性能提升11%或功耗降低22%？
如何看待广州12寸晶圆厂海芯项目停摆，而该项目距宣布启动不过数月时间？
假如我发明了0.1nm的光刻机，把光刻机直接捐献给华为公司，我想在华为公司里当一名高管华为愿意吗?
高端光刻机有哪些不可思议、神乎其神的高科技？