目前，主要有4种方案可以获得EUV光源，分别是：同步辐射源、激光等离子体(Laser Produced Plasma，LPP)、放电等离子体(Discharged Produced Plasma，DPP)和激光辅助放电等离子体(Laser-assisted Discharge Plasma，LDP)。

同步辐射源的优点是可以产生高功率的EUV光，而且它对光学原件无碎屑污染（另外三种方案都会产生碎屑），可以长时间稳定地输出EUV光。但是，过于复杂和庞大的装置构造以及极其高昂的造价等都表明同步辐射源并不适用于HVM生产。这种源自同步加速器的装置，大小都是百米单位来算的，我国在上海的第三代同步辐射光源上海同步辐射装置（Shanghai Synchrotron Radiation Facility， SSRF）总投资12亿人民币，这种设备不太可能用来当光刻机的光源。

LPP、DPP和LDP都是通过高能量束使靶材产生较高的温升，从而产生高温、高密度的等离子体并发射EUV光。虽然它们的形成方法有所差异，但却可以使用相同靶材，现在一般用的是锡（Sn）靶。

LPP是以高强度的脉冲激光为驱动能源照射靶材，使靶材产生高温等离子体并辐射EUV光。其中，采用数十千瓦功率的激光从一圆孔进入打在液滴Sn靶上，产生的极紫外光通过多层介质膜反射镜反射汇聚在中心焦点(Intermediate Focus)处。

为ASML提供光源的是Cymer，一家美国公司，不过已经被ASML收购了。目前走的是LPP路线。大概原理是在一个真空腔体中，有强大的二氧化碳激光，通过腔体，照射一束每秒被发射出几万滴的超纯锡液滴。当激光脉冲照射到锡液滴时，液滴会被加热成等离子体并产生 EUV 射线，反射镜收集器将该过程产生的光线反射到光刻机中。

之前与ASML有合作的日企Gigaphoton（小松Komatsu的独资子公司），2002就展开了对EUV光源的研究，也是走LPP路线的。该公司是光刻机用准分子激光器光源的两大制造商之一，另一家就是Cymer。但随着2013年Cymer被ASML收购，Gigaphoton逐渐在竞争中处于下风（肯定是用自己亲儿子公司的产品方便了）。不过最近Gigaphoton表示将开发出新的光源部件，在ASML计划于2022年发布下一代EUV设备时夺回市场份额。

上面那个回答里提到的氟代硼铍酸钾晶体（KBBF）主要是用来产生深紫外激光的，176nm波长，EUV光刻机需要的是极紫外光（10-14nm），ASML用的应该是是13.5nm波长。176和13.5差距还是很大的。

ASML的EUV光刻机大概率应该是不需要KBBF的。

xin-shou-he-tong 网友的相关建议:

首先，不要悲观，对手是美国＋欧洲，必然强大无比。

其次，我国22纳米光刻机在研发投产中，45纳米光刻机投产中（良品率尚可）。

最后，对手7nm量产，我方落后3个周期等于5-6年。下来要做的就是继续追赶，直到纳米技术被榨干！

这是最后好也是最近的距离了！

2022年我们将投产14纳米光刻机，2028年如果我们投产7纳米光刻机呢？

对手真能继续一辈子无限小吗？

若要超车，就在技术革新的下一代！

而这个下一代芯片技术（姑且还是叫做芯片吧！），才是真正没有专利限制的超车时代！

而在这之前，我们需要一步步来，先做好22纳米，再上更小的规格，一步步打破硬件垄断，软件技术壁垒。

最后：我记得三年前有人说4纳米以下就是禁区了，成品率非常低。而7纳米能量产＋高良品率才是中国自主光刻机＋芯片的第一代繁荣之日！

而这个日子在座的都能看到！

Wingo.Wang 网友的相关建议:

之前专门写过一篇文章写过IC相关的网站和公众号，很适合这个回答。

以下为文章的原内容：

十佳优秀网站及其公众号：

1、EETOP-易特创新（公众号：eetop-1）

EETOP电子网(ET创芯网）国内知名的半导体行业媒体、半导体论坛、IC论坛、集成电路论坛、电子工程师博客、工程师著名社区(150万会员)，同时也是电子资料免费分享平台！

这个网站几乎涵盖了电子工程的各个方面，上面的资料也是非常的齐全。目前注册需要购买一个邀请码10元，不知道大家有没有免费注册的方式，欢迎分享！

网址：

2、CSDN(公众号：CSDNLIB）

中国专业IT社区CSDN (Chinese Software Developer Network) 创立于1999年，致力于为中国软件开发者提供知识传播、在线学习、职业发展等全生命周期服务。

@CSDN

@CSDN学院

CSDN相对来说涵盖的方面就比较广了，移动端开发，大数据，人工智能，IC等。

CSDN注册免费，通过发帖灌水，上传资源获取积分，便可以下载资料了。

网址：

3、IC设计小镇（公众号:ictown_com）

IC设计小镇应该是唯一一家专门做IC的网站了，从数字到模拟再到FPGA，从设计到制造，从封装到测试，涵盖了芯片的整个生命周期，免费注册，十分推荐！

@IC小镇镇长

网址：

4、摩尔精英（MooreElite）的公众号也值得关注，摩尔精英是领先的芯片生态链公司，使命是“让中国没有难做的芯片”，提供一站式的“芯片设计、流片封测、人才服务、企业孵化”等。

@摩尔精英

@张竞扬摩尔精英

5、博客园（公众号：cnblogs_com）

博客园创建于2004年1月，是一个面向开发者的知识分享社区。自创建以来,博客园一直致力并专注于为开发者打造一个纯净的技术交流社区,推动并帮助开发者通过互联网分享知识。

@博客园

@博客园精选

网址：

6、电子工程师专辑（公众号：eet-china）

电子工程专辑为亚洲及中国的电子工程师社群提供及分析最新工业和科技趋势 ,丰富的电子设计技术论文,应用实例和市场研究报告等; 为业界最知名,具有权威性的电子技术网站。@电子工程师专辑

网址：

7、电子发烧友网（公众号：elecfans）

电子发烧友网站提供各种电子电路,电路图,原理图,IC资料,技术文章,免费下载等资料,是广大电子工程师所喜爱电子资料网站。

网址：

8、中国电子技术网

中电网是电子元器件门户,为中国电子工程师提供电子电路资讯、电子技术文章、电子资料免费下载、电子行业分析、最新的电子产品以及行业人才培训。

网址：

9、21IC中国电子网

21IC中国电子网, 中国电子工程师的优选网站包含嵌入式,单片机,DSP,EDA,测试测量,元器件,医疗电子,智能电网等前沿科学内容！

@21ic中国电子网

@半导体

网址：

10、电子工程世界

电子工程世界(EEWorld)是一家专为中国电子工程师和电子设计主管提供电子技术开发应用资讯的网络传媒。其内容服务核心是快速传播半导体集成电路领域电子元器件的最新技术！

网址：

其余IC设计优秀公众号:

1、OpenIC （Wingo_IC）

专注于数字芯片设计，可测性设计（DFT）技术的分享，芯片相关科普，以及半导体行业时事热点的追踪。

2、陌上风骑驴看IC（MoShangFengQiLv）

@罗锋

3、半导体行业观察 (icbank）

最有深度的半导体新媒体，实讯、专业、原创、深度，50万半导体精英关注！专注观察全球半导体最新资讯、技术前沿、发展趋势。

@张竞扬摩尔精英

4、 路科验证 （Rocker-IC）

由验证大牛路桑创办，专注数字芯片验证的系统思想和前沿工程领域！

@路桑

5、白话IC（gray_mount）

专注于芯片物理设计技术与知识分享。

@白山头

6、IC修真院(叩持电子旗下)

@IC修真院专业芯片设计人才高端培训，打造IC科技人才生态圈。提供专业的数字电路，ic数字前端，数字后端，芯片设计培训服务，企业岗前培训,转岗培训，培养ic集成电路方向的高薪人才。

需要报名IC修真院培训课程的同学，可以说明有“ 温戈 ”推荐，会在其现有优惠的基础上，额外获得500元的优惠哦~

7、老扎古

@老扎古集成电路行业动态，求职招聘，创业融资，资源整合，打造相互成就，互惠互利的平台。

8、硬件加速与EDA

@Forever snow 老师公众号，分享硬件加速、EDA领域相关的课程、技术与科研进展。

9、老石谈芯

号主 @老石探讨芯片问题的本质，分享高效生活的方法，在FPGA方面很有建树。

以上就是我整理的IC学习资源，喜欢的话麻烦点个赞加收藏，本文会持续更新~~

最后欢迎关注我及我的的专栏，持续为您分享更多数字IC设计及DFT相关的知识！

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