问题

半导体工厂都是高污染企业么?

回答
半导体工厂,很多人一听名字就觉得高科技,又和“工厂”挂钩,很容易联想到传统制造业的污染问题。那么,半导体工厂到底是不是“高污染”企业呢?这事儿,得掰扯掰扯。

首先,我们要明确什么是“高污染”。 一般来说,“高污染”是指那些产生大量、难以处理、对环境和人体健康有严重负面影响的废弃物、废水、废气、噪声的企业。比如,一些传统的重工业,像钢铁厂、火电厂,它们产生的污染物,比如烟尘、二氧化硫、重金属等,都是大家公认的污染源。

那么半导体工厂呢?从产生污染的种类和性质来看,半导体工厂确实有一些“污染”的因子,但说它们是“高污染”企业,可能有些过于简单化了。

我们来拆解一下半导体工厂主要的污染产生环节:

1. 化学品的使用和排放: 这是半导体制造中最关键也是最容易产生污染的环节。芯片制造需要用到大量的化学试剂,比如各种酸、碱、有机溶剂、光刻胶、显影液等等。这些化学品在清洗、蚀刻、显影、去胶等过程中会产生相应的废液。
废液处理: 这些废液的处理是关键。很多化学品本身具有腐蚀性、毒性,或者包含重金属离子。半导体工厂必须投入巨额资金和技术,建立非常复杂的废水处理系统,对这些废液进行中和、沉淀、过滤、吸附、生化处理等,达到国家甚至更高的排放标准才能排放。处理不好,确实会造成严重的水污染。
有机挥发物(VOCs): 一些有机溶剂在使用过程中会挥发到空气中,形成VOCs。VOCs是造成空气污染和光化学烟雾的重要前体物。所以,半导体工厂需要安装VOCs回收或焚烧装置来控制排放。

2. 高纯水的消耗和产生: 芯片制造对水的纯度要求极高,需要超纯水,这需要经过多级复杂的过滤、反渗透、离子交换等工艺。这个过程本身消耗大量能源,并且会产生高浓度的废水(反渗透浓水),其中可能含有一些盐类和化学物质。

3. 废气排放: 除了VOCs,一些工艺过程还会产生少量的其他气体,比如一些腐蚀性气体(如HF)或者工艺过程中产生的副产物气体。这些气体也需要通过特定的吸收塔、洗涤塔等设备进行处理,确保达标排放。

4. 固体废弃物: 制造过程中会产生一些报废的晶圆、滤芯、化学品包装物、废弃的化学试剂罐等。这些固体废弃物也需要按照危险废弃物的规定进行分类、收集、贮存和委托有资质的单位进行处理。

5. 能源消耗: 半导体工厂是出了名的“耗能大户”。从洁净室的恒温恒湿控制,到各种精密设备的运转,都需要消耗大量的电力。电力来源如果是火力发电,间接的碳排放也是一个需要考虑的环境问题。

那么,为什么不简单地把半导体工厂定义为“高污染”呢?

处理技术的先进性: 相比于一些传统行业,半导体行业普遍投入了更高的技术和资金用于污染治理。国家和地方对半导体工厂的环保要求也越来越严格,一旦出现严重超标排放,后果是灾难性的,不仅是罚款,更可能导致停产。所以,正规运营的大型半导体工厂,其废水、废气处理设施往往是行业内最先进的之一。
污染物的可控性: 大部分半导体制造过程中产生的污染物,在经过严苛的净化处理后,是可以达到排放标准的。例如,经过复杂处理的工业废水,其重金属、COD(化学需氧量)等指标,是可以控制在很低的水平的。相比于一些行业产生的难以去除或有剧毒的污染物,半导体行业的污染物在技术上是相对可控的。
污染物种类的区别: 很多传统高污染行业,如某些化工、冶炼企业,可能产生难以回收、无法处理的剧毒物质,或者大气污染物(如SO2、NOx)浓度非常高。而半导体行业虽然化学品种类繁多,但处理的重点在于化学品的“精细化”管理和“高标准”净化。

总结一下:

把半导体工厂称为“高污染”企业,是不准确的,但也不是完全没有道理。

说“有污染”是肯定的。 任何工业生产都会对环境产生一定影响,半导体制造由于其工艺的特殊性,确实会产生种类繁多的化学污染物,如果管理和处理不当,后果会很严重。
说“高污染”则需要打个问号。 如果与那些缺乏有效治理手段、污染物成分复杂且对环境和健康有长期、不可逆转危害的“典型高污染”行业相比,现代大型半导体工厂,在投入了先进的环保技术和严格管理的情况下,其污染物排放是可以被控制在国家或地方标准之内的。

更准确的说法可能是:

半导体工厂是“高科技、高投入、高要求”的产业,其生产过程中“涉及大量精细化学品,需要极为严苛的环保处理和管理”。它们是“潜在的高污染源,但通过先进的环保技术和严格的管理,可以做到达标排放”。

就像一个高精度的仪器,用错了试剂或者操作不当,会产生危险;但只要按照严格的规程操作,就能实现精确的结果。半导体工厂也是如此,环保投入和技术水平是其能否“不成为”高污染企业的关键。

网友意见

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本身不是,但耐不住一些没责任心的做厂务

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搜了一下楼主的【半导体加速器】

看起来只有徐州,并且投资也不大。

根据一期情况来看,这个项目其实是一个孵化器,里头都是中小微型企业。

主要也没啥太多污染。

当然题主要是实在不放心,可以给环境局打电话要环评(虽然做过环境的都知道那个有点扯),以及一期监测点位报告。

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