新建 CPU 工厂要投资几十亿美元，钱都花在哪里了？ 第1页

按照14nm DUV的生产线来算，一条线100亿美元左右（参考三星在西安建设的晶圆厂）。

注:下面说的货币单位全部是美元。

厂房将10亿甚至更多，供电设备（包括应急供电设备）、面积巨大的超净室（上万平方米，还很高）、换气设备、冷却设备等等。厂房本身也是高标准，因为晶圆生产非常怕振动，就是从工厂附近开过去一辆卡车，带来的振动都会影响晶圆生产。所以厂房的地基打的非常深，而且做了很多稳定措施，类似于高层建筑防地震，不过这里难度更高，成本也高，因为厂房占地面积远远超过摩天大楼。

光刻机，一条生产线大概需要上百台光刻机，193mm的DUV光刻机30多台，一台5000万左右（西安的三星工厂是14年建成投产的，当时什么价格我也不知道，不过估计也不会差太多），这就是10+亿。其他波段的光刻机从几百万到1000多万不等，这又是20+个亿进去了。为什么要这么多台？因为现在的晶圆都是多次曝光（十几次到几十次），不是每一次都要用最先进的光刻机。（PS：台积电的7nm EUV和未来的5nm，也只是其中几次曝光用到EUV光刻机，而不是每次曝光都用到EUV）

此时已经花了将近50个亿。除此以外，晶圆厂还有其他上百种配套设备，很多配套设备还区分具体型号，这些设备在一起，才能完成晶圆生产。每种设备从几十台到几百台不等。生产中和生产后还需要进行各种检测，来保证晶圆的质量。这些设备便宜的几十万，贵的几百万，这又要花掉几十亿。

整个晶圆，从硅片到成品，需要经过1000多道工序。非常的复杂，这1000多道工序，每一道怎么干，合起来，就叫做工艺。工艺决定了你能造什么制程的芯片，一样的设备（当然还有多达上百种的耗材，比如研磨液、曝光胶之类的，也要跟上），中芯国际只能造14nm的，台积电就能造7nm的，这就是工艺先进。

具体的生产设备，可以参考下面的晶圆生产流程图：

所以，杂七杂八，就花了100亿了。。。。。

说明一下，三星在西安的生产厂，在全世界范围内都是非常大的晶圆厂，每月产能在10+万片12寸晶圆。不是每一家晶圆厂都这么大，比如Intel大连厂耗资为只有25亿美金。

PS：说下厂房，厂房不仅仅要求无尘和防震，晶圆厂需要的是恒温恒压恒湿的无尘车间。温度、湿度、气压变化，都会影响设备精度。恒压和恒湿还好说，难度主要是无尘和恒温。晶圆厂是最高级别的无尘车间，都是1级（一般的无尘车间都是千级万级，这个数字越小标准越高），标准可以参考老美的标准：

其次晶圆厂非常非常的费电，参考台湾缺电影响台积电，台积电还想自建发电厂。一个先进FAB的耗电量和一座几十万小城市相当。如此高的耗电量，就给散热带来的巨大的压力，所以厂房的每平米成本会非常的高。

说到耗电量，又可以拿西安三星厂举例了。16年夏季用电高峰，西安南郊变电站因为超负荷运行，炸了。三星晶圆厂就受到了波及，损失上亿RMB。我不是电网的人，无法解释电网到底出了啥问题，因为高负荷也不应该爆炸。但是据说和晶圆厂用电量大有关，反正没有事故调查报告，起码没公开。有知道的大佬可以介绍一下。

PPS：我只是想举例说明晶圆厂对于用电要求高，不是想黑西安。请各位乡党不要喷我~~~~~

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这个答案收到关注越来越多啦，因为我的不专业，被很多人教育了。我和专业人士咨询了一下，补充几点：

1、晶圆厂整个车间都是无尘车间，但一个晶圆厂很大，分很多模块，并不是每个模块都是一级无尘。一般只有光刻车间是一级，其他车间从百级到万级不等。PS：很多员工不愿意进光刻车间，因为进去一次极其麻烦，还要穿上专门的防尘防静电的衣服，还不能上厕所。

2、第二，西安南郊变电站与晶圆厂无关。并且电力部门也公开调查报告：

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