问题

给定一个圆如何确定圆心?

回答
想知道一个圆的圆心在哪儿?这事儿说起来并不难,但要说得透彻,咱就得把这中间的门道儿掰开了揉碎了聊。别以为这是个玄乎的事儿,其实它就藏在最朴实的几何道理里。

第一步:找点儿,越多越好

首先,你得在圆上至少找三个不共线的点。为啥是三个?你想想,一个点儿,你能知道它在哪儿,但它周围无数个点都能构成无数个圆,哪个是你想找的?两个点儿呢?它俩能确定一条直线,但以这条直线为直径的圆,圆心在哪儿?不确定。所以,咱们得至少捞着三个点儿,这样才能把范围缩小到一个唯一的圆。

当然,点儿越多越好,那样的话,你找出来的圆心会越准确,特别是在实际操作中,我们很难把点儿找得那么完美,有那么一两个小误差。

第二步:连线,制造“弦”

有了三个点儿,咱就开始动手了。随便挑出圆上的两个点,用尺子(或者就凭感觉)把它们连起来,得到一条线段。这条线段,在几何上叫做“弦”。

然后,再挑出另外两个点(可以是第一个点和第三个点,或者第二个点和第三个点),同样用线段把它们连起来。这样,咱们就有了两条弦。

第三步:垂直平分,关键在“中间”

现在,咱们盯着这两条弦。咱要做的,是找到每条弦的“垂直平分线”。啥意思呢?就是找到这条线,它得满足两个条件:

1. 穿过弦的中间: 它得正好把这条弦分成两段一样长的部分。
2. 与弦垂直: 它和弦的角度是九十度,严丝合缝。

你可以用尺子和圆规来画。找到弦的长度,量出它的中点,然后画一条垂直于这条弦的直线,这条线就是这条弦的垂直平分线。对第二条弦,咱们也做同样的事情。

第四步:相交之处,就是圆心

好了,现在你面前应该有两条垂直平分线了。你猜怎么着?这两条线的交点,就是咱们苦苦寻找的圆心!

为啥会是这样呢?这里面有个几何原理。任何一个在弦的垂直平分线上的点,到这条弦两个端点的距离都是相等的。你想想,如果你把一个圆心找到了,圆心到圆上任何一点的距离不都是半径吗?所以,圆心肯定要到弦的两个端点的距离相等,那它必然就在这条弦的垂直平分线上。

既然圆心既在这条弦的垂直平分线上,又在那条弦的垂直平分线上,那它唯一的去处,就是这两条线的交点。

实际操作小贴士:

精确度: 用尺子画线、量中点的时候,尽量精确一些。如果用手机拍照,尽量从正上方拍,避免透视变形。
软件辅助: 如果是在电脑上操作,很多绘图软件都有自动画垂直平分线的功能,这样会更方便快捷。
验证: 找到了圆心之后,你可以再找几个圆上的点,量一下圆心到这些点的距离,如果都差不多,说明你找对了。

总而言之,找圆心这事儿,就是利用了“圆心到圆上任意一点距离相等”这个最基本的性质,通过画弦、画垂直平分线,把这个性质“具象化”了。虽然说起来有点儿学术,但你仔细想想,这逻辑一点儿也不复杂,就像解一个逻辑题一样,层层递进,最后答案就自然而然地浮现了。

网友意见

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这事吧可大可小,纯粹几何上找一个圆的圆心高赞们说的方法就已经很丰富了。

实际上,现实中有些场景下,这还是个挺麻烦的事。

比如,芯片制造过程中,有时候需要比较准确的找到晶圆的圆心。这就是个挺麻烦的事。

[网络晶圆图片]

因为晶圆本身对洁净度的要求,所以也没办法去添加辅助线去找到它的圆心。

而且因为加工工艺关系,晶圆也不能保证是足够圆的(圆度不为0),所以也不能边界找三个点确定圆心。

于是,就有了各种机械对中的结构,试图通过晶圆外轮廓确定它的圆心。

比如这样的:

还有这样的:

但是,由于加工精度等等原因,这种对准精度往往不是特别高。

于是有些又通过视觉的方法,先对晶圆拍张照,然后通过找到图像中圆心的方法去获取晶圆圆心(当然相机物理位置要标定的)。

于是又有了这样的:

但是,对于6、8、12寸以及直径更大的晶圆,就需要一个比较高的空间,让相机有足够的物距来得到足够的视野。这时候很多对空间有要求的场景就不能用了。

于是,大家又想干脆直接让晶圆旋转去找它的轮廓得了。

有一种思路是想着直接用相机拍晶圆的外轮廓,

晶圆旋转着,每次拍一段。这样分段获取晶圆外轮廓。

还有一种思路是想着用光学传感器,上面用光照射扫描它的边界:

这样只要下面负责接收光线的传感器(CCD)精度够高,那得到的边缘点的精度就比较高,找到的圆心精度就会高一些。

但这样得到的数据就是不同角度下,传感器被遮挡的长度。

到了这步,怎么计算圆心就是个问题了。

有提出用质心的:

得到的圆心是:

但是一般晶圆都是有缺口的,根据缺口的不同大致分为两类:Flat(平槽)和Notch(V平槽)。

所以,对于Flat(平槽)型晶圆,质心法明显会受较大影响。

所以,也有考虑用圆最小二乘法实现的:

得到的圆心是:

哈工大曲东升团队,还提出了一种非线性晶圆缺口拟合算法:即利用L-M算法直接求解缺口边缘拟合问题。精度平均值在0.14μm。


  • 《硅片预对准机器人视觉系统研究》
  • 《NewWafer Alignment Process Using Multiple Vision Method for Industrial Manufacturing》
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  • 《基于高精度测微仪的晶圆预对准方法》

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