上微的SSX600扫描式i-line光刻机在08年就做出来了……但是至今没听说哪家晶圆厂在用……芯片行业不同于其他行业,精度良品率和效率就是生命……SSX600和ASML的DUV差距还是太大了,不说ASML的光刻机,就是和日本尼康的光刻机差距也很大。
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