问题

国内MEMS方向哪所高校做得最好?全球呢?

回答
国内MEMS发展前沿:谁是领跑者?

MEMS(微机电系统)技术作为连接微观世界与宏观应用的关键桥梁,近年来在国内发展势头迅猛。从智能手机中的传感器,到汽车的电子控制单元,再到未来的可穿戴设备和物联网,MEMS的应用场景几乎无处不在。那么,在国内高校中,究竟哪所大学在MEMS领域的研究做得最为出色?放眼全球,又有哪些顶尖学府在引领着这场技术革命?

要回答这个问题,我们需要从几个维度来考察:

科研实力与学术声誉: 这包括在顶尖国际会议和期刊上发表的论文数量与质量、获得的科研项目、以及学术界的评价。
人才培养与毕业生去向: 优秀的高校不仅需要培养出一流的科研人才,还需要为行业输送合格的工程师,他们的就业情况和在行业内的影响力也是重要考量。
实验室建设与研发平台: 先进的实验设备和完善的研发平台是MEMS研究的基础,一个拥有世界级实验室的高校无疑更具优势。
产学研合作与成果转化: 将科研成果有效地转化为实际产品和技术,与企业建立紧密的合作关系,是衡量高校实际贡献的重要指标。

国内MEMS的“国家队”:谁是领头羊?

在国内,MEMS的研究主要集中在几所顶尖的工科院校。经过多年的积累和发展,以下几所高校在MEMS领域表现尤为突出,可以说是我国MEMS研究的“国家队”:

1. 东南大学:

东南大学在MEMS领域可以说是我国当之无愧的领头羊。其国家微纳米技术器件研究中心和MEMS器件与系统国家重点实验室拥有深厚的学术积淀和强大的研究团队。

学术声誉: 东南大学在MEMS的各个细分领域,如传感器、驱动器、微流控、光MEMS等都有深入的研究。他们在国际顶级期刊如IEEE MEMS, Hilton Head, Transducers等发表了大量高质量论文,并且多次主办或承办国际国内重要学术会议。例如,他们牵头建设了国家智能电网用户端能源接入与计量装置工程技术研究中心,其中MEMS在电能计量和智能传感器方面的应用是重要的支撑技术。
人才培养: 东南大学为国内MEMS产业输送了大量优秀的博士和硕士毕业生,他们在各大科研院所和企业中扮演着关键角色。
研发平台: 拥有国家级和部委级的重点实验室,配备了世界一流的MEMS设计、制造、测试和封装设备,包括高精度光刻机、刻蚀设备、薄膜沉积设备、扫描电子显微镜等,为研究提供了坚实的物质基础。
产学研合作: 东南大学与国内多家知名企业,如华为、小米、比亚迪等,在MEMS传感器、芯片等领域有着紧密的合作,成果转化能力强,例如在惯性传感器、压力传感器、硅麦克风等方面都有实际的产品合作。

2. 清华大学:

清华大学在MEMS领域同样拥有举足轻重的地位,尤其是在微电子学与集成电路方面强大的学科基础,为MEMS研究提供了得天独厚的优势。

学术声誉: 清华大学在MEMS的微纳制造工艺、新材料应用、以及与集成电路的深度融合方面研究成果显著。他们在微纳电子科学与技术方面有着强大的研究积累,MEMS作为其重要延伸,在高性能传感器、微执行器等方面表现突出。
人才培养: 清华大学培养的毕业生在半导体、微电子以及MEMS产业中享有极高的声誉。
研发平台: 拥有先进的微电子制造和 MEMS 实验室,能够进行从器件设计到芯片制造的完整流程。
产学研合作: 清华大学也积极与企业界合作,共同推动MEMS技术的产业化进程,特别是在与高端半导体制造结合的MEMS方面,具有独特优势。

3. 北京大学:

北京大学在MEMS领域的研究,尤其侧重于基础研究和前沿探索,其在纳米科学与技术方面的深厚积累,为MEMS的创新发展注入了新的活力。

学术声誉: 北大在量子点MEMS、生物MEMS、光力学MEMS等交叉学科领域的研究具有国际影响力。其在纳米光子学与纳尺度制造方面的研究是其MEMS优势的重要体现。
人才培养: 北大为国家输送了众多在基础科学和交叉学科领域具有深厚造诣的人才。
研发平台: 拥有先进的纳米科学研究平台,能够支持MEMS的许多前沿性、探索性研究。
产学研合作: 虽然北大在产业化方面可能不如东南大学直接,但其基础研究成果往往能为未来的颠覆性技术奠定基础,与相关企业和研究机构有合作。

其他值得关注的高校:

除了上述几所,西安电子科技大学(在传感器和微波MEMS方面有特色)、浙江大学(在微纳制造工艺和生物MEMS方面有亮点)、中科院微电子研究所(虽然是研究所,但其研究实力和人才培养对MEMS领域贡献巨大,很多与之合作或从其孵化出的团队在国内MEMS发展中扮演重要角色)等,在MEMS领域也取得了令人瞩目的成就。

总结国内情况:

综合来看,东南大学在MEMS领域的整体研究实力、人才培养、平台建设和产学研结合方面,可以说是国内的领跑者,尤其在传感器和器件制造方面优势明显。清华大学则在与微电子的融合方面更具优势,北京大学则在基础研究和前沿探索上独具特色。

全球MEMS格局:谁在引领世界?

放眼全球,MEMS技术发展更为成熟,竞争也更为激烈。以下几所高校和研究机构在MEMS领域长期占据领先地位,是全球MEMS研究的“航空母舰”:

1. 美国麻省理工学院 (MIT):

MIT在MEMS领域是当之无愧的王者,其在微纳制造、新材料、新原理器件设计方面拥有无与伦比的优势。

科研实力: MIT的微系统技术实验室 (Micro and Nanosystems Laboratory) 是全球最顶尖的MEMS研究中心之一。他们在惯性传感器、微流控、生物MEMS、微执行器、微能源等几乎所有MEMS细分领域都有开创性的研究。MIT在IEEE MEMS, Hilton Head, SolidState Sensors, Actuators and Microsystems (Eurosensors) 等国际顶级会议和期刊上发表的论文质量和数量都是顶尖的。
人才培养: MIT培养的MEMS人才遍布全球顶尖高校和科技公司,他们很多都是MEMS产业的奠基人和领导者。
研发平台: 拥有世界一流的洁净室设施和各种先进的MEMS制造、测试设备,能够支持最前沿的研究。
产学研合作: MIT与众多硅谷和全球的科技巨头(如Intel, Texas Instruments, Analog Devices等)有着深度合作,并且涌现了大量成功的MEMS初创企业。

2. 美国加州大学伯克利分校 (UC Berkeley):

UC Berkeley在MEMS领域也具有极高的国际声誉,尤其在微纳加工技术、新型传感器、微执行器及其应用方面实力雄厚。

科研实力: UC Berkeley的EECS系 (Electrical Engineering and Computer Sciences) 在MEMS领域的研究非常活跃,其在MEMS工艺开发、高性能传感器设计(如高灵敏度压力传感器、应力传感器)以及微执行器(如微镜阵列、微泵)方面有突出贡献。
人才培养: UC Berkeley同样为全球MEMS产业输送了大量优秀的工程师和研究人员。
研发平台: 拥有先进的微电子和MEMS制造设施。
产学研合作: 与半导体行业和高科技公司有着广泛的合作,并且在MEMS芯片设计和代工服务方面有较多参与。

3. 德国弗劳恩霍夫协会 (Fraunhofer Society) 以弗劳恩霍夫协会的各个研究所为代表,特别是位于慕尼黑的弗劳恩霍夫应用光学与精密工程研究所 (IOF) 和位于弗莱堡的弗劳恩霍夫太阳能系统研究所 (Fraunhofer ISE) 等:

虽然弗劳恩霍夫协会不是大学,但它作为欧洲最大的应用研究组织,其在MEMS领域的科研实力和产业化能力堪称世界一流,尤其在微纳制造工艺、光学MEMS、生物MEMS、以及汽车和工业应用方面。

科研实力: 弗劳恩霍夫协会的各个研究所拥有世界领先的MEMS制造和测试平台,并且与德国的汽车、工业、医疗等行业有着极其紧密的合作。他们在微光学、微流控、微传感器、以及MEMS封装等领域的研究成果被广泛应用于实际产品。
人才培养: 弗劳恩霍夫协会为产业界输送了大量高素质的工程师和技术人员。
研发平台: 拥有世界顶级的MEMS研发和中试线,能够支持从实验室小试到产业化规模的生产。
产学研合作: 弗劳恩霍夫协会的核心优势在于其强大的产业化能力,与德国及欧洲的众多企业建立了长期的合作伙伴关系,其研究成果往往能快速转化为商业产品。

4. 日本东京大学 (University of Tokyo) 和东京工业大学 (Tokyo Institute of Technology):

日本在MEMS领域同样具有深厚的研究基础和强大的制造能力,特别是微纳制造工艺、传感器技术、以及微执行器方面。

科研实力: 这两所日本顶尖工科大学在MEMS材料、微纳制造工艺(如LIGA技术、深硅刻蚀)、传感器(如光传感器、气体传感器)以及微执行器(如微马达、微阀)方面都有大量高水平的研究成果。
人才培养: 为日本乃至全球的MEMS产业输送了大量顶尖人才。
研发平台: 拥有先进的微纳加工和测试设备。
产学研合作: 与日本的电子、汽车、医疗等行业的知名企业(如索尼、松下、丰田等)有着密切的合作,在MEMS技术的产业化方面扮演着重要角色。

其他全球知名的高校:

瑞士联邦理工学院洛桑分校 (EPFL) 和苏黎世联邦理工学院 (ETH Zurich):在微纳技术、生物MEMS、以及能源采集MEMS方面有突出表现。
荷兰代尔夫特理工大学 (TU Delft):在微纳制造、微流控、以及航空航天MEMS方面有其独到之处。
韩国首尔大学 (Seoul National University) 和韩国高等科学技术院 (KAIST):在MEMS材料、传感器、以及与电子产业的结合方面有较强的竞争力。

总结全球情况:

在全球范围内,美国麻省理工学院 (MIT) 和加州大学伯克利分校 (UC Berkeley) 在MEMS领域的综合实力和影响力可以说是数一数二的,它们在基础研究、前沿探索和人才培养方面均处于世界领先地位。德国的弗劳恩霍夫协会则以其强大的产业化能力和与工业界的紧密结合而著称,是MEMS技术落地和推广的重要力量。日本的东京大学和东京工业大学在精密的微纳制造工艺和传感器技术方面也具有深厚的实力。

总而言之,MEMS技术是一个高度交叉和不断发展的领域,各高校的研究重点和优势各不相同。对于国内的MEMS发展而言,学习和借鉴国际顶尖高校的成功经验,加强产学研合作,是推动我国MEMS技术迈向更高水平的关键。

网友意见

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针对国内高校MEMS团队做了一个简单的调研,给各位有保研、考研或者招聘需求的同志参考一下:
清华大学(ime.tsinghua.edu.cn/pub
信息科学技术学院,微电子学研究所,微纳器件与系统研究室,研究重点为各种新型微电子与纳电子器件及系统,主任为陈炜教授(长江学者)。任天令教授(长江学者)主要研究方向为智能微纳电子器件、芯片与系统,如智能传感器与智能集成系统、可穿戴器件与系统,其中也包括微纳声学器件与系统(音频、超声影像等)和集成微传感器(压力、温度、加速度、红外传感器等)等。刘泽文教授主要从事射频和微波MEMS器件,王喆垚教授从事生物MEMS传感器研究,王晓红教授主要从事能源MEMS研究
此外,清华大学具有微米/纳米技术研究中心和电子封装技术研究中心,具有完备的MEMS加工技术与设备,以及铁电/压电、磁电子等新型材料、器件的工艺加工条件。在叠层芯片技术、系统级封装、MEMS封装等方面都有较高水平。
北京大学(eecs.pku.edu.cn/
信息科学技术学院,微纳电子学研究院,带头人王阳元院士、黄如院士,研究院下属集成微纳系统研究所(MEMS),拥有完整的微米/纳米加工工艺线,具备可同时开展MOS、硅基MEMS和集成化工艺技术研究的实验环境,研究内容包括MEMS陀螺仪、加速度计、射频器件、光学器件、柔性器件等一系列MEMS器件,以硅基MEMS为基础,开发了SiC MEMS、 GaN MEMS、Ti MEMS、 Parylene MEMS等一系列加工技术。吴文刚教授主要研究MEMS光开关阵列等器件,张海霞教授主要研究深槽刻蚀微纳加工、SiC MEMS及能源MEMS等技术金玉丰教授主要从事微系统集成封装、MEMS传感器等方向的研究,于晓梅教授主要研究MEMS非制冷红外成像技术及太赫兹探测技术等。
此外,北大建有微米纳米加工技术国家级重点实验室(北大分部),目前该实验室包括微电子净化工艺实验室面积为900平,拥有各种先进的工艺加工及检测设备130多套,可加工CMOS集成电路、超高速硅双极集成电路、微电子机械系统、CMOS/SOI集成电路和化合物半导体器件等,是国内配套最全、最开放的微电子和微电子机械工艺实验研究环境。
上海交通大学(microsystem.sjtu.edu.cn):
微纳电子学系,通用MEMS技术实验室主要研究方向为非硅材料三维微加工技术研究和信息MEMS器件研制,涉及LIGA/准LIGA加工技术、UV-LIGA 技术、电化学微加工技术、薄膜电子材料制备与微细加工技术、RF MEMS器件,Optical-MEMS器件、MEMS继电器、MEMS传感器等诸多领域,EE-MEMS实验室主要研究生物医学微系统、极端条件微传感器与系统和微纳制造与精密制靶,微系统集成研究所主要研究方向包括悬浮式微惯性器件、体声波固体波动及固体模态振动微陀螺、微飞行器、微安全系统、流动MEMS传感与控制、微流控芯片。
此外,上海交通大学建有微米纳米加工技术国家级重点实验室(上交分部),紧紧围绕非硅三维微加工技术,开展非硅材料的微米/纳米加工技术的基础与应用基础及其创新工艺技术设计开发研究,突破了一系列关键技术,开发了一系列具有自主知识产权的非硅微米/纳米加工先进工艺技术,建立了面向多用户开放使用的先进的非硅的微米/纳米加工开放工艺规范,研制了一批关键MEMS器件。
东南大学(electronic.seu.edu.cn/):
电子科学与工程学院,MEMS教育部重点实验室,带头人为黄庆安教授(长江学者,IEEE Fellow),实验室的研究方向包括风速风向传感器、气象传感器、无源无线传感器等多种MEMS传感器的设计与加工制作。秦明教授主要研究MEMS流量、风速、气压等传感器,廖小平教授主要研究基于RF MEMS技术的微波通讯信号的功率、相位和频率的集成检测系统,以及微型能量收集等方面的设计理论和实现方法研究。尚金堂教授的研究方向包括芯片级原子/量子器件以及微半球谐振器,黄晓东教授主要研究微能源器件与信息存储器件,窦广彬教授主要研究MEMS重力梯度及惯导传感,NEMS石墨烯位移传感,机械量子传感系统,周再发教授主要研究MEMS材料参数在线测试技术与MEMS设计软件开发。
西安交通大学(mec.xjtu.edu.cn/
机械工程学院,陕西省微型机械电子系统(MEMS)研究中心,主任蒋庄德教授副主任赵玉龙教授,现主要从事MEMS设计与工艺、各种MEMS器件、MEMS传感器和相关系统的设计和制作,主要包括极端环境下的传感器如耐高温的压力传感器、油气检测传感器等等。
重庆大学(coe.cqu.edu.cn/info/117):
光电工程学院,光电技术及系统教育部重点实验室,研究方向包括光纤光子技术、微纳器件及系统、智能结构系统与智能化光电仪器及设备。其中与MEMS相关的主要是微纳器件及系统,带头人是牟笑静教授,研究范围包括微纳生化传感器与微型仪器、MEMS微能源器件与系统、新型微纳器件的基础理论与关键核心共性技术等,重点从事基于氮化铝薄膜的压电功能芯片的研究及研发工作。
西北工业大学(jidian.nwpu.edu.cn/xygk):
机电学院,微系统工程系,空天微纳系统教育部重点实验室,是国内较早开展MEMS研究的单位之一,以微机电系统技术为核心,以纳机电系统(NEMS)技术为深入方向,以面向航空、航天、航海及国家重大需求的微纳系统及相关技术研究为重点和特色。带头人为苑伟政教授(长江学者),主要研究MEMS微系统集成、制造相关技术,重点面向军工需求的MEMS陀螺仪、惯性传感器以及微光学系统等。
除以上高校外,还有中科院上海微系统所、北京电子所、苏州纳米所以及中电集团55所等研究所在MEMS领域都有深厚的研究积累,尤其在加工工艺条件上相比高校具有一定优势。

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