DUV光刻机还分好几种呢。。
从1900到2050型号,中间几十款全都是DUV光刻机。
ASML说的是全部型号DUV光刻机么?
那,能买到NXT2050么?
听说NXT2050工艺因子几乎压到物理极限了,套刻精度进一步提升了。。
DUV硬凹5nm是不是指日可待了?
乂~很可惜,并不是,因为其他配套的设备材料还不足以支撑用DUV硬凹5nm。
光刻机是卡脖子技术之一不错,薄膜沉积、刻蚀、光刻胶、大硅片,这些也是卡脖子技术。
先把90nm国产线跑明白,再努力把45nm国产线跑明白再说吧。
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